LG电子株式会社朴准获国家专利权
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龙图腾网获悉LG电子株式会社申请的专利薄膜特性测量设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115698684B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080101576.0，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权薄膜特性测量设备是由朴准;安世源;丁润琡设计研发完成，并于2020-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜特性测量设备在说明书摘要公布了：公开了一种薄膜特性测量设备，其用于测量待被检查物体的薄膜的厚度或宽度。薄膜特性测量设备包括光源、第一反射镜、第一致动器和透镜组件。透镜组件形成为使得由光轴和透射穿过透镜组件的光线的主光线形成的角度小于或等于由光轴和入射到透镜组件的光线的主光线形成的角度。光源可以包括超发光二极管SLD。提供了薄膜特性测量设备、方法等，该薄膜特性测量设备使得透射穿过透镜组件的光能够在待被检查物体的入射表面上往复运动，同时第一反射镜在预定角度范围内反复地倾斜，并且因此可以准确地测量相对大的区域以及可以不同地控制待被测量的位置。
本发明授权薄膜特性测量设备在权利要求书中公布了：1.一种薄膜特性测量设备，所述薄膜特性测量设备用于测量对象的薄膜的厚度或宽度，所述薄膜特性测量设备包括： 光源，所述光源由超发光二极管SLD构造； 第一反射镜，所述第一反射镜反射从所述光源照射的光线； 第一致动器，所述第一致动器使所述第一反射镜在预定角度范围内往复运动和倾斜；以及 透镜组件，所述透镜组件包括多个透镜，并且在所述透镜组件中由所述第一反射镜反射的光线被入射和透射， 其中，所述透镜组件被构造成使得透射穿过所述透镜组件的光线的主光线与光轴之间的角度等于或小于从所述光轴入射在所述透镜组件上的光线的主光线与所述光轴之间的角度，并且 其中，当所述光线的所述主光线从离轴位置入射在所述透镜组件上时，透射穿过所述透镜组件的所述主光线相对于所述光轴倾斜并且彼此平行或基本上彼此平行。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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