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龙图腾网获悉杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请的专利一种基于硅片进行变距调节的搬运机构及上下料方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115744271B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211424749.X，技术领域涉及：B65G47/91；该发明授权一种基于硅片进行变距调节的搬运机构及上下料方法是由徐新华设计研发完成，并于2022-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于硅片进行变距调节的搬运机构及上下料方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于硅片进行变距调节的搬运机构及上下料方法，涉及硅片加工设备技术领域，搬运机构包括机架，两侧机架间依次布设有上料输送机构、加工平台以及下料输送机构；上料输送机构用于将待抛光硅片输送至搬运端以准备进行上料，下料输送机构用于将抛光加工后硅片输送出去；其中，机架顶部设有搬运平台；还包括搬运组件，所述搬运组件包括布设在搬运平台朝向加工平台方向的调节板，调节板与驱动其进行位置调节的调节组件连接，调节板一侧设有吸附上料机构，本发明搬运机构在上料的过程中采用吸盘进行吸附固定，采用夹取的方式对硅片进行固定，进而使得吸盘不会与表面残余有抛光剂的硅片直接接触，避免抛光剂对吸盘造成腐蚀。

本发明授权一种基于硅片进行变距调节的搬运机构及上下料方法在权利要求书中公布了：1.一种基于硅片进行变距调节的搬运机构，其特征在于，包括机架1，两侧机架1间依次布设有上料输送机构4、加工平台601以及下料输送机构5；上料输送机构4用于将待抛光硅片8输送至搬运端以准备进行上料，下料输送机构5用于将抛光加工后硅片8输送出去； 其中，机架1顶部设有搬运平台101； 还包括搬运组件，所述搬运组件包括布设在搬运平台101朝向加工平台601方向的调节板7，调节板7与驱动其进行位置调节的调节组件连接，调节板7一侧设有吸附上料机构，所述吸附上料机构用于将上料输送机构4输送至的硅片8吸附固定后输送至加工平台601上，另一侧设有夹取下料机构，所述夹取下料机构用于将抛光后的硅片8夹取移送至下料输送机构5； 吸附上料机构包括与调节板7通过第一支杆701固定连接的第一定位板901，所述第一定位板901远离调节板7的一侧布设有吸盘906，所述吸盘906与布设在第一定位板901上的负压机构9连通，夹取下料机构包括与调节板7通过第二支杆704固定连接的第二定位板703，第二定位板703上相对滑动布设有L型齿条板706，两侧L型齿条板706分别与转动布设在第二定位板703上的第一齿轮707啮合，第一齿轮707与第一电机708输出端固定连接，其中，两侧L型齿条板706分别通过限位板705与夹持板702固定连接； 加工平台601上设有用于对硅片8进行承接的承载平台802，承载平台802与驱动其沿着加工平台601运动的滑动机构连接； 该基于硅片进行变距调节的搬运机构还包括布设在承载平台802上的抬升机构，抬升机构包括滑动布设在承载平台802间的升降柱801，所述加工平台601底部两侧相对布设挡板604，两侧挡板604之间相对布设第二齿条板609，升降柱801与布设在加工平台601底部的升降板605固定连接，抬升机构还包括螺杆610，螺杆610两侧螺纹旋向相反，螺杆610上相对螺纹套设螺母607，螺母607转动连接推杆606，推杆606末端与升降板605转动连接，螺杆610两端还设有与第二齿条板609啮合的第二齿轮608，挡板604内端面还设有滑轨，第二齿轮608远离螺杆610的一端与滑动布设在滑轨内的活动座转动连接； 调节组件包括用于驱动调节板7升降的升降机构，升降机构包括滑动布设在搬运平台101上的滑动板203，滑动板203上布设电动伸缩杆2，电动伸缩杆2伸缩端与调节座201固定连接，调节座201两端分别通过导向杆202与调节板7固定连接。

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