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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种液态源供应装置、方法及半导体工艺系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115789520B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211451356.8，技术领域涉及：F17D1/08；该发明授权一种液态源供应装置、方法及半导体工艺系统是由纪雪峰;陈亮;范威威设计研发完成，并于2022-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种液态源供应装置、方法及半导体工艺系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种液态源供应装置、方法及半导体工艺系统，包括储液单元、缓冲单元、气体供应单元、气液分离单元、排气单元、吹扫单元、管路单元和压力监测单元。其优点在于，利用储液单元和缓冲单元进行双重备份，在储液单元的液态源不足的情况下，可以仅关闭储液单元，缓冲单元继续向工艺腔室供应液态源，避免出现停机在启动的情况，大大提高生产效率，提高生产良率，减少无谓的损失；利用排气单元和吹扫单元的双重作用，可以在更换储液单元时，对于储液单元连通的管路单元进行排气和吹扫，保证管路单元洁净无杂质，避免污染更换后的储液单元；利用气液分离单元对液态源进行气液分离，避免携带微量气体的液态源进入工艺腔室，保证生产稳定性。

本发明授权一种液态源供应装置、方法及半导体工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种液态源供应装置，其特征在于，包括： 储液单元，用于储存液态源； 缓冲单元，所述缓冲单元设置于所述储液单元的下游，并与所述储液单元连通，用于缓冲液态源； 气体供应单元，所述气体供应单元设置于所述储液单元、所述缓冲单元的上游，并分别与所述储液单元、所述缓冲单元连通，用于分别向所述储液单元、所述缓冲单元供应气体，以使所述储液单元的液态源向所述缓冲单元流动、所述缓冲单元的液态源向下游流动； 气液分离单元，所述气液分离单元设置于所述缓冲单元的下游，并与所述缓冲单元连通，用于对所述缓冲单元向下游流动的液态源进行气液分离以除去液态源中的气体，并将进行气液分离的液态源向工艺腔室流动； 排气单元，所述排气单元与所述储液单元连通，用于向所述储液单元提供真空负压； 吹扫单元，所述吹扫单元与所述储液单元连通，用于向所述储液单元供应气体，在所述储液单元的更换前后，对所述储液单元进行吹扫； 其中，所述储液单元包括： 储液元件，所述储液元件分别与所述缓冲单元、所述气体供应单元、所述排气单元、所述吹扫单元连通，用于储存液态源； 第一阀元件，所述第一阀元件设置于与所述储液元件连通的管路，并位于所述储液元件的上游、所述气体供应单元的下游、所述排气单元的下游、所述吹扫单元的下游； 第二阀元件，所述第二阀元件设置于与所述储液元件连通的管路，并位于所述储液元件的下游、所述缓冲单元的上游、所述排气单元的下游、所述吹扫单元的下游； 第一压力监测元件，所述第一压力监测元件设置于所述储液元件与所述第一阀元件之间，用于监测所述储液元件的进口位置的压力信息； 第二压力监测元件，所述第二压力监测元件设置于所述储液元件与所述第二阀元件之间，用于监测所述储液元件的出口位置的压力信息； 其中，所述缓冲单元包括： 缓冲元件，所述缓冲元件分别与所述储液单元、所述气体供应单元、所述气液分离单元连通，用于缓冲液态源； 其中，所述气液分离单元包括： 气液分离元件，所述气液分离元件设置于所述缓冲单元的下游，并与所述缓冲单元连通，用于对所述缓冲单元向下游流动的液态源进行气液分离以除去液态源中的气体，并将进行气液分离的液态源向工艺腔室流动； 第一真空元件，所述第一真空元件与所述气液分离元件连通，用于向所述气液分离元件提供真空负压； 第六阀元件，所述第六阀元件设置于与所述气液分离元件连通的管路，并位于所述缓冲元件与所述气液分离元件之间； 第七阀元件，所述第七阀元件设置于与所述气液分离元件连通的管路，并位于所述气液分离元件与工艺腔室之间； 第八阀元件，所述第八阀元件设置于与所述气液分离元件连通的管路，并位于所述第七阀元件的下游； 第九阀元件，所述第九阀元件设置于与所述气液分离元件连通的管路，并位于所述气液分离元件与所述第一真空元件之间； 故障监测元件，所述故障监测元件设置于所述气液分离元件的一侧，用于监测所述气液分离元件是否出现故障； 第十二阀元件，所述第十二阀元件设置于与所述气液分离元件连通的管路，位于所述缓冲元件与工艺腔室之间，并与所述第六阀元件、所述第七阀元件并联设置。

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