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辛耘企业股份有限公司童瑞发获国家专利权

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龙图腾网获悉辛耘企业股份有限公司申请的专利工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115910835B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110980853.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法是由童瑞发;林世佳设计研发完成,并于2021-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法在说明书摘要公布了:一种由工件处理系统对工件实施的工件放置路径设定方法,所述工件处理系统包含承载座及机械手臂,且所述工件放置路径设定方法包含:获得对应所述承载座的第一位置,以及在所述工件被放置于所述承载座的情况下获得对应所述工件的第二位置;根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生校正放置路径。其中,所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座,而使得所述待处理工件的中心与所述承载座的中心之间的距离小于所述第一位置与所述第二位置之间的距离。所述校正放置路径能使所述机械手臂将待处理工件放置地与所述承载座更加对齐,所以能避免因所述待处理工件的放置位置偏差而对所述待处理工件的处理造成负面影响。

本发明授权工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法在权利要求书中公布了:1.一种工件处理系统,适用于处理工件,其特征在于:所述工件处理系统包含: 工件处理设备,包括适用于承载所述工件的承载座、适用于固持并移动所述工件的机械手臂,以及与所述机械手臂电连接的处理单元;及 距离测量装置,与所述承载座位置相对应且与所述处理单元电连接,且包括多个距离感测器,其中,每一距离感测器用于在所述承载座上未放置有所述工件的情况下量测出其本身与所述承载座的侧周面之间的距离,以及在所述承载座上放置有所述工件的情况下量测出其本身与所述工件的侧周面之间的距离; 其中,所述处理单元用于在所述承载座上未放置有所述工件的情况下控制所述距离感测器运作,以获得由所述距离测量装置所产生且相关于所述承载座的第一感测结果,并根据所述第一感测结果获得对应所述承载座的第一位置,根据初始放置路径控制所述机械手臂将所述工件放置至所述承载座,在所述工件已被所述机械手臂以所述初始放置路径放置于所述承载座的情况下,再次控制所述距离感测器运作,以获得由所述距离测量装置所产生且相关于所述工件的第二感测结果,并根据所述第二感测结果获得对应所述工件的第二位置,其中,所述第一感测结果及所述第二感测结果各包含多个分别对应所述距离感测器的感测距离值,所述第一感测结果所包含的每一感测距离值是代表该感测距离值所对应之该距离感测器与所述承载座之侧周面之间的距离,所述处理单元是至少根据所述第一感测结果的所述感测距离值计算出对应所述承载座的所述第一位置,以及至少根据所述第二感测结果的所述感测距离值计算出对应所述工件的所述第二位置,所述第一位置与所述第二位置之间的距离被作为偏移距离,并且,所述处理单元还用于至少根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异调整所述初始放置路径,从而产生对应所述机械手臂的校正放置路径,其中,所述校正放置路径是用于取代所述初始放置路径并控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座,且使得所述待处理工件被所述机械手臂放置于所述承载座时的中心位置与所述承载座的中心位置之间的距离小于所述偏移距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人辛耘企业股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾台北市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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