宁波科星材料科技有限公司尹善攀获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波科星材料科技有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜工装获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115948717B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211499021.3，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射镀膜工装是由尹善攀;章槐军;潘道良;庄致远;林法盼设计研发完成，并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜工装在说明书摘要公布了：本发明提供了一种磁控溅射镀膜工装，属于生产工装技术领域，包括底板与多个放置架，底板与旋转轴固定连接，多个放置架首尾拼接围绕底板圆周设置，且每个放置架与底板之间均为转动连接，每个放置架的端部与底板之间为可拆卸连接，每个放置架上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓，且每个放置架的内侧设置有内溅射窗口与料仓相连通、放置架的外侧设置有外溅射窗口与料仓相连通；优点是当一面镀膜完毕后将放置架进行旋转翻面，即可对产品的另一面进行溅射镀膜，相比较传统的对产品进行逐一翻面的镀膜工艺，旋转放置架一次对多个产品进行翻面，节约翻面时间；且通过对放置架进行旋转翻面，更加省力，翻面效率更高。
本发明授权一种磁控溅射镀膜工装在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜工装，其特征在于，包括底板与多个放置架，所述底板与旋转轴固定连接，多个所述放置架首尾拼接围绕所述底板圆周设置，且每个所述放置架与所述底板之间均为转动连接，每个所述放置架的端部与所述底板之间为可拆卸连接，每个所述放置架上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓，且每个所述放置架的内侧设置有内溅射窗口与料仓相连通、所述放置架的外侧设置有外溅射窗口与料仓相连通； 所述底板包括固定板，所述固定板与旋转轴相固定，所述固定板的圆周方向上间隔设置有多个连接板，所述连接板远离所述固定板的一端固定设置有连接块，芯轴固定在连接块上，所述固定板的中心设置有通孔。
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