中国科学院上海技术物理研究所应翔霄获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115950536B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310040396.1，技术领域涉及：G01J5/0802；该发明授权基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法是由应翔霄;周易;周建;田惠莲;陈建新设计研发完成，并于2023-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法在说明书摘要公布了：一种基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法，电调谐滤波器由下而上依次的硅衬底层、底部“回”字形金电极层、空气悬空层、顶部“S”形硅桥面层和顶部金“插指”电极层构成；硅顶部桥面层的桥面悬臂拐角和桥腿固定连接处为“圆弧”结构，顶部金“插指”电极层的四个内边各有一根“插指”电极，该“插指”电极的固定端的圆弧半径与硅顶部桥面层的拐角的桥面圆弧一致。本发明的圆弧形微桥结构有效解决传统“直臂”型结构中90°拐角处和悬臂固定点存在应力过大且集中导致结构翘曲、倾斜、坍塌等问题，保证整体桥面一致性，且桥面总体应力均匀。该发明可用于红外探测器表面集成滤波片，获得紧凑片上集成的动态滤波调谐的探测功能。
本发明授权基于圆弧型悬臂微桥工艺的静电调谐滤波器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于圆弧型悬臂微桥的静电调谐滤波器，其特征在于，该静电调谐滤波器由下而上依次的硅衬底层1、底部“回”字形金电极层2、空气悬空层3、顶部“S”形硅桥面层4和顶部金“插指”电极层5构成；该静电调谐滤波器的俯视图呈正方形，所述的硅顶部桥面层4的桥面悬臂拐角41和桥腿固定连接处42为“圆弧”结构，所述的顶部金“插指”电极层5的四个内边各有一根“插指”电极51，该“插指”电极51的固定端512的圆弧半径R与所述的硅顶部桥面层4的拐角的桥面圆弧，即桥腿固定处的圆弧半径R1一致，所述的四根“插指”电极51各自沿逆时针方向向对边延伸，所述的“插指”电极51的末端511与相邻内边的硅顶部桥面层4的桥面圆弧的拐角的直径齐平，所述的“插指”电极51下的硅顶部桥面层4的桥面与所述的底部“回”字形金电极层2区域直接面对。
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