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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种流体调速装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115999823B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211712616.2，技术领域涉及：B05B16/20；该发明授权一种流体调速装置是由王本义;王一;刘迟;关贺聲;孙俊主设计研发完成，并于2022-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种流体调速装置在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种流体调速装置，包括基座、基板转轴、固定环、流体回收盘、流体回收盘连接环、基板转轴驱动件及流体回收盘驱动件。基板转轴穿设于基座中部、下端与基板转轴驱动件连接，固定环安装于基板转轴外周的基座上，流体回收盘驱动件安装于固定环外周的基座上，流体回收盘驱动件通过流体回收盘连接环直接带动流体回收盘转动。本发明相对现有的技术，通过采用直驱电机的流体回收盘驱动件，在做到提高化学药品回收率的同时，做到了驱动端模块化，便于安装维护，可有效避免间接驱动例如齿轮传动或压缩空气推动叶轮等驱动方式带来的颗粒物污染问题，保证半导体湿制程的工艺效果。

本发明授权一种流体调速装置在权利要求书中公布了：1.一种流体调速装置，其特征在于：包括基座1、基板转轴2、固定环3、流体回收盘4、流体回收盘连接环5、基板转轴驱动件6及流体回收盘驱动件7； 所述基板转轴2穿设于所述基座1中部、下端与所述基板转轴驱动件6连接，所述基板转轴驱动件6安装于所述基座1下部，所述固定环3安装于所述基板转轴2外周的基座1上，所述流体回收盘驱动件7安装于所述固定环3外周的基座1上，所述流体回收盘驱动件7的驱动端与所述流体回收盘连接环5连接，所述流体回收盘连接环5与所述流体回收盘4连接； 所述基板转轴2的轴向中心线、固定环3的轴向中心线、流体回收盘4的轴向中心线、流体回收盘连接环5的轴向中心线、基板转轴驱动件6的轴向中心线及流体回收盘驱动件7的轴向中心线均共线； 所述基板转轴2的顶部为支撑盘部，所述基板转轴2的中部开设有抽真空孔道，所述基板转轴2的支撑盘部的顶面上开设有与所述抽真空孔道相连通的抽真空沟槽； 所述基板转轴2的支撑盘部的外周面上开设有若干条喷气通道A201； 所述基板转轴2的顶面高于所述固定环3的顶面，所述固定环3的顶面高于所述流体回收盘4的顶面； 所述固定环3上开设有若干条喷液通道301，所述固定环3的外周面上开设有若干条喷气通道B302，各所述喷气通道B302的喷气口均位于所述喷液通道301的喷液口的外侧。

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