应用材料公司K·拉马斯瓦米获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利电压脉冲的时域复用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116018665B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280005747.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权电压脉冲的时域复用是由K·拉马斯瓦米;杨扬;郭岳设计研发完成，并于2022-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本电压脉冲的时域复用在说明书摘要公布了：本文提供的实施例总体包括用于产生对处理腔室中的基板进行等离子体处理的波形的设备、等离子体处理系统和方法。一个实施例包括波形产生器，所述波形产生器具有电压源电路系统、耦合在电压源电路系统与波形产生器的第一输出节点之间的第一开关、以及耦合在第一输出节点与电气接地节点之间的第二开关，第一输出节点被配置为耦合到腔室。波形产生器还包括耦合在电压源电路系统与波形产生器的第二输出节点之间的第三开关、以及耦合在第二输出节点与电气接地节点之间的第四开关，第二输出节点被配置为耦合到腔室。
本发明授权电压脉冲的时域复用在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体处理的波形产生器，包含： 电压源电路系统； 第一开关，所述第一开关耦合在所述电压源电路系统与所述波形产生器的第一输出节点之间，所述第一输出节点被配置为耦合到腔室； 第二开关，所述第二开关耦合在所述第一输出节点与电气接地节点之间； 第三开关，所述第三开关耦合在所述电压源电路系统与所述波形产生器的第二输出节点之间，所述第二输出节点被配置为耦合到所述腔室；以及 第四开关，所述第四开关耦合在所述第二输出节点与所述电气接地节点之间，其中： 所述第一开关和所述第二开关被配置为产生待提供到所述腔室的第一脉冲电压波形；以及 所述第三开关和所述第四开关被配置为产生待提供到所述腔室的第二脉冲电压波形，所述第一脉冲电压波形从所述第二脉冲电压波形相移。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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