睿晶半导体(宁波)有限公司祁耀亮获国家专利权
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龙图腾网获悉睿晶半导体(宁波)有限公司申请的专利光掩模版标识及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116088262B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211500061.5，技术领域涉及：G03F1/38；该发明授权光掩模版标识及其制作方法是由祁耀亮设计研发完成，并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本光掩模版标识及其制作方法在说明书摘要公布了：一种光掩模版标识及其形成方法，其中所述光掩模版标识包括：透明基板，透明基板包括曝光区域和边缘区域；透明基板的边缘区域中具有多个标识槽，每一个所述标识槽均包括行列排布的多个主凹槽以及将相邻的主凹槽连接的副凹槽，所述副凹槽的宽度小于所述主凹槽的宽度，一个所述标识槽中的某些主凹槽和副凹槽中填充有不透光材料构成一个标识码，多个所述标识槽中对应的多个所述标识码构成一个标识。本申请的已有标识码后续可以移除部分不透光材料以改变为其他标识码，或者可以将不透光材料去除后重新在相应的主凹槽和副凹槽中填充不透光材料以变成其他的标识码，可以很简便的实现对标识的修改，以满足掩膜板制作过程中的管理需求。
本发明授权光掩模版标识及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种光掩模版标识，其特征在于，包括： 透明基板，所述透明基板包括曝光区域和位于曝光区域周围的边缘区域；所述透明基板的边缘区域中具有多个标识槽，每一个所述标识槽均包括行列排布的多个主凹槽以及将相邻的主凹槽连接的副凹槽，所述副凹槽的宽度小于所述主凹槽的宽度，一个所述标识槽中的某些主凹槽和副凹槽中填充有不透光材料构成一个标识码，多个所述标识槽中对应的多个所述标识码构成一个标识； 一个已有的标识码在去除部分主凹槽和或副凹槽中的不透光材料后修改为其他的标识码，或者一个已有的标识码在去除全部主凹槽和副凹槽中的不透光材料后再在相应的主凹槽和副凹槽填充不透光材料修改为其他的标识码。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人睿晶半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315205 浙江省宁波市镇海区九龙湖镇长石孙陆工业区厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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