应用材料公司马丁·A·希尔金获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利快速腔室真空泄漏检查硬件和维护程序获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116096938B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180056250.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权快速腔室真空泄漏检查硬件和维护程序是由马丁·A·希尔金;苏伦德拉·辛格·斯利瓦斯塔瓦设计研发完成，并于2021-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本快速腔室真空泄漏检查硬件和维护程序在说明书摘要公布了：本文描述了用于检测处理腔室内真空泄漏的方法及设备。更具体而言，所述方法及装置关于利用光谱测量装置，如光谱测量仪，来确定当处理腔室保持在泄漏测试压力下时处理腔室内的泄漏率。光谱测量装置确定处理腔室内一或多种气体的增加速率，并可用以确定处理腔室是否通过或未通过泄漏测试。
本发明授权快速腔室真空泄漏检查硬件和维护程序在权利要求书中公布了：1.一种检测真空泄漏的方法，包括： 将处理腔室从第一压力抽气至第二压力，其中所述第二压力小于所述第一压力； 启用光谱测量仪； 在将所述处理腔室抽气至所述第二压力后关闭腔室隔离阀； 在采样时间内使用所述光谱测量仪从导管收集光谱数据；及 利用所述光谱数据计算腔室泄漏率， 其中所述腔室隔离阀位于所述光谱测量仪下游的所述处理腔室的排气导管中，并且隔离所述处理腔室。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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