应用材料公司F·库贝内斯获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于等离子体处理应用的脉冲电压源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116097393B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280006003.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于等离子体处理应用的脉冲电压源是由F·库贝内斯;D·格里辛设计研发完成，并于2022-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于等离子体处理应用的脉冲电压源在说明书摘要公布了：本文提供的实施例大体包括设备，例如，等离子体处理系统，以及用于对处理腔室中的基板进行等离子体处理的方法。一些实施例涉及波形产生器。波形产生器大体包括第一电压级，所述第一电压级具有：第一电压源；第一开关；以及第二开关，其中第一电压源的第一端子耦合到第一开关的第一端子，并且其中第一电压源的第二端子耦合到第二开关的第一端子。波形产生器还包括耦合到在第一开关和第二开关的第二端子之间的公共节点的电流级，所述电流级具有电流源和耦合到电流源的第三开关。
本发明授权用于等离子体处理应用的脉冲电压源在权利要求书中公布了：1.一种波形产生器，包含： 第一电压级，所述第一电压级具有： 第一电压源； 第一开关；以及 第二开关，其中所述第一电压源的第一端子耦合到所述第一开关的第一端子，并且所述第一电压源的第二端子耦合到所述第二开关的第一端子，其中所述第二开关的所述第一端子耦合到所述波形产生器的输出节点，并且其中所述波形产生器的所述输出节点耦合到负载；以及 第二电压级，所述第二电压级具有： 第二电压源； 第三开关；以及 第四开关，其中所述第二电压源的第一端子耦合到所述第三开关的第一端子，其中所述第二电压源的第二端子耦合到所述第四开关的第一端子，并且其中所述第四开关的所述第一端子耦合到所述第一开关的第二端子和所述第二开关的第二端子之间的第一节点； 电流级，所述电流级耦合到在所述第三开关和所述第四开关的第二端子之间的第二节点，所述电流级具有： 电流源；以及 第五开关，所述第五开关耦合到所述电流源。
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