复旦大学孔令豹获国家专利权
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龙图腾网获悉复旦大学申请的专利一种基于暗场散射飞行时间的表面细微缺陷检测装置和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116297476B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310108754.8,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权一种基于暗场散射飞行时间的表面细微缺陷检测装置和方法是由孔令豹;唐鑫岚设计研发完成,并于2023-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于暗场散射飞行时间的表面细微缺陷检测装置和方法在说明书摘要公布了:本发明属于光学检测技术领域,具体为一种基于暗场散射飞行时间的表面细微缺陷检测装置和方法。该装置包括两台激光器,每台激光器前设置一个电光调制器以控制激光的时域波形,经过时域调制的光束照明于待测表面并被细微缺陷散射,再经过单路光学显微系统进入光电探测器获取信号,其运用至少两路或以上的光路照明物体,探测多光路照明下表面细微缺陷散射光飞行时间之间的时间差来精准检测表面细微缺陷。本发明通过分析散射光时间维度的信息来避开对光束从缺陷至探测器这一复杂传播过程的讨论,将缺陷的特征信息锁定在光源至表面缺陷这一线性传播路径中,提升了暗场散射检测系统的检测能力。
本发明授权一种基于暗场散射飞行时间的表面细微缺陷检测装置和方法在权利要求书中公布了:1.一种基于暗场散射飞行时间的表面细微缺陷检测装置,其特征在于,其包括两台激光器、电光调制器、单路光学显微系统和光电探测器;每台激光器前设置一个电光调制器以控制激光的时域波形,运用两路的经过时域调制的光路照明纵向设置的待测表面,再经过单路光学显微系统进入光电探测器获取信号,根据两光路照明下表面细微缺陷散射光飞行时间之间的时间差获得缺陷的高度差Δz来精准检测表面细微缺陷;光电检测器为单点探测器,检测时,采用移动待测表面或者单路光学显微系统扫描方式,移动时,待测表面或单路光学显微系统在纵深方向移动。
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