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株式会社电装;株式会社堀场制作所中村崇规获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社电装;株式会社堀场制作所申请的专利异物除去装置和异物除去方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116323018B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180064157.9,技术领域涉及:H01L21/304;该发明授权异物除去装置和异物除去方法是由中村崇规;杉大作;宇木大辅;河野高博;神崎丰树设计研发完成,并于2021-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

异物除去装置和异物除去方法在说明书摘要公布了:本发明提供异物除去装置和异物除去方法,不论形成在对象物的表面的结构物的结构如何都能够提高异物除去性能,在利用从形成有吹出口的喷嘴吹出的气体除去附着在对象物上的异物的异物除去装置中,所述吹出口的两端部的开口率小于该吹出口的中央部的开口率。

本发明授权异物除去装置和异物除去方法在权利要求书中公布了:1.一种异物除去装置,利用从形成有吹出口的喷嘴吹出的气体除去附着在对象物上的异物,所述异物除去装置的特征在于, 所述吹出口由沿所述吹出口的两端方向分开间隔设置的多个开口要素构成, 设置在所述吹出口的两端部的所述开口要素的开口面积小于设置在所述吹出口的中央部的所述开口要素的开口面积, 所述吹出口的两端部的开口率小于该吹出口的中央部的开口率。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社电装;株式会社堀场制作所,其通讯地址为:日本爱知县;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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