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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116426871B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211682348.4，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法是由菅原由季设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法，通过更难以产生制造不良的成膜方法进行成膜。成膜单元包括放出成膜材料的成膜源，一边移动一边对基板进行成膜。挡板遮挡从成膜源放出的成膜材料向基板的飞散。移动部件使挡板进行开闭。移动部件与成膜单元向第一方向的移动联动地使挡板从全闭位置向全开位置向第一方向移动，在成膜单元对基板的成膜中，经过由挡板覆盖基板的一部分的状态。

本发明授权成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其特征在于， 该成膜装置具备： 成膜单元，包括放出成膜材料的成膜源，一边在移动方向上往复移动一边使用掩模对进行与所述掩模的对准并与所述掩模重合的基板进行成膜； 第一成膜载置台，对通过第一对准机构与第一掩模进行了对准的作为所述基板的第一基板进行成膜； 第二成膜载置台，与所述第一成膜载置台并列地设置在作为所述成膜单元的所述移动方向的第一侧的相反侧的第二侧，对通过第二对准机构与第二掩模进行了对准的作为所述基板的第二基板进行成膜； 第一挡板，遮挡从所述成膜源放出的所述成膜材料向所述第一基板的飞散； 第二挡板，遮挡从所述成膜源放出的所述成膜材料向所述第二基板的飞散；以及 移动部件，使所述第一挡板在第一全闭位置与第一全开位置之间开闭，且使所述第二挡板在第二全闭位置与第二全开位置之间开闭， 所述移动部件进行第一动作，所述第一动作与所述成膜单元向第一侧的移动联动地使所述第二挡板从所述第二全开位置向所述第二全闭位置向所述第一侧移动，以使所述第二挡板不与来自所述成膜源的所述成膜材料的放出范围干涉，且使所述第一挡板从所述第一全闭位置向所述第一全开位置向所述第一侧移动， 在所述第一动作中，在由所述成膜单元进行的向所述第一基板的成膜中，经过所述第二基板被所述第二挡板覆盖、并且所述第一基板的所述第二成膜载置台所在侧的部分开放且相反侧的部分被所述第一挡板覆盖的状态。

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