信利光电股份有限公司周伟杰获国家专利权
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龙图腾网获悉信利光电股份有限公司申请的专利一种镀膜缺陷去除工艺及红外截止滤光片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116479397B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310412723.1,技术领域涉及:C23C14/58;该发明授权一种镀膜缺陷去除工艺及红外截止滤光片是由周伟杰;王伟士;吴德生设计研发完成,并于2023-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜缺陷去除工艺及红外截止滤光片在说明书摘要公布了:本发明公开了一种镀膜缺陷去除工艺及红外截止滤光片,工艺包括步骤:在镀制红外截止滤光片A面时,对A面的第一真空腔体进行加热,以使得A面的高折射率材料膜层产生第一雾度;在镀制红外截止滤光片B面时,对B面的第二真空腔体进行加热,以使得B面的高折射率材料膜层产生第二雾度。通过在镀制A面低反射薄膜和B面多层薄膜时,在第一真空腔体和第二真空腔体的加热温度分别提高到对应的温度阈值,使得A面低反射薄膜和B面多层薄膜的高折射材料由非结晶态转换为结晶态,分别产生对应的雾度,去除了“星点”镀膜缺陷,并且产生的雾度对视觉不产生影响,提高摄像模组的良率。
本发明授权一种镀膜缺陷去除工艺及红外截止滤光片在权利要求书中公布了:1.一种镀膜缺陷去除工艺,其特征在于,用于去除“星点”镀膜缺陷,包括步骤: 步骤100、在镀制红外截止滤光片A面时,对所述A面的第一真空腔体进行加热,以使得所述A面的高折射率材料膜层产生第一雾度; 所述步骤100包括:步骤110、获取所述红外截止滤光片A面高折射率材料膜层的第一膜层数;步骤120、根据所述第一膜层数对第一真空腔体进行加热,以使得所述A面高折射率材料膜层从非结晶态转换为结晶态; 所述步骤120包括:步骤121、获取所述第一真空腔体的第一基准加热温度;所述第一基准加热温度为120摄氏度;步骤122、在所述第一基准加热温度基础上,继续对所述第一真空腔体进行加热,到第一温度阈值;所述第一膜层数的总数范围为3~5层;所述第一温度阈值为250摄氏度; 步骤200、在镀制红外截止滤光片B面时,对所述B面的第二真空腔体进行加热,以使得所述B面的高折射率材料膜层产生第二雾度; 所述步骤200包括:步骤210、获取所述红外截止滤光片B面高折射率材料膜层的第二膜层数;步骤220、根据所述第二膜层数对所述第二真空腔体进行加热,以使得所述B面高折射率材料膜层从非结晶态转换为结晶态; 所述步骤220包括:步骤221、获取所述第二真空腔体的第二基准加热温度;步骤222、在所述第二基准加热温度基础上,继续对所述第二真空腔体进行加热,到第二温度阈值;所述第二基准加热温度为120摄氏度;所述第二膜层数的总数范围为16~22层;所述第二温度阈值为170摄氏度; 所述第一雾度小于雾度阈值; 所述第二雾度小于雾度阈值; 所述雾度阈值为0.4%。
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