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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116581077B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310581063.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法是由王德进;马东旭;舒贻胜;刘远坤设计研发完成，并于2023-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体检测技术领域，提供了一种对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法。该对准装置包括吸附动力源和吸附平台；吸附动力源具有互相独立设置的第一气路和第二气路；吸附平台能够绕第一轴线转动；吸附平台构造有第一吸附区和第二吸附区，第一吸附区与第一气路连通，第二吸附区与第二气路连通；第一吸附区设置有多个，并间隔分设于第二吸附区的外侧。如此，即可提高对晶圆的吸附固定效果，提高吸附稳定性，当吸附平台在外力作用下切换于转动与停止之间时，确保晶圆不会轻易发生偏移，提高晶圆的对准精度，从而提升制造良率。

本发明授权对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，其特征在于，所述对准装置100包括： 吸附动力源10，具有互相独立设置的第一气路11和第二气路12； 吸附平台20，能够绕第一轴线转动；所述吸附平台20构造有第一吸附区2001和第二吸附区2002，所述第一吸附区2001与所述第一气路11连通，所述第二吸附区2002与所述第二气路12连通；所述第一吸附区2001设置有多个，并间隔分设于所述第二吸附区2002的外侧；所述吸附平台20包括吸附基座21和分隔板22； 沿第一轴线方向，所述吸附平台20的一侧构造有凸设部2102和凹陷部2103，所述凸设部2102构造有多个绕所述第一轴线间隔布置的缺口，每个所述缺口对应一所述凹陷部2103； 所述凸设部2102构造有多个间隔布置的吸附孔2121以限定形成所述第二吸附区2002，所述凹陷部2103构造有吸附通道2122，所述吸附平台20还包括多个伯努利吸盘23，每个所述伯努利吸盘23安装于一所述凹陷部2103并连通于对应的所述吸附通道2122，以限定形成一所述第一吸附区2001。

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