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龙图腾网获悉普莱姆斯激光测量技术有限公司申请的专利用于确定焦点位置的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116635182B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180085586.4，技术领域涉及：B23K26/04；该发明授权用于确定焦点位置的装置和方法是由R·克拉默;O·玛特恩;S·沃夫;J·罗斯纳格尔;M·韩赛尔;R·尼德瑞吉设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于确定焦点位置的装置和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于确定能量束或从能量束中解耦的样本束70的焦点71的轴向位置的光束分析装置10，包括光束整形装置12、检测器40和分析装置45。光束整形装置12被解耦为在子光束释放过程的平面19上从样本束70释放两个子光束72、73。两个子光束72、73的横截面由子孔32、33限定，这些子孔相互分隔，并在第一横向方向31上以距离k相互排列。光束整形装置12被设计成对两个子光束72，73进行成像，以便在检测器上形成两个光束点92，93，并在与第一横向方向31横向排列的第二横向方向37上对两个子光束72，73中的至少一个进行偏转，以便在两个光束点92，93之间形成沿第二横向方向37上的距离w。评估装置45被设计为确定检测器40上两个光束点92、93在第一横向方向31上的距离a，并基于距离a确定光束焦点71的轴向位置和或基于距离a的变化确定光束焦点71的轴向位置变化。本发明还涉及一种相应的方法，用于确定光束焦点71的轴向位置。

本发明授权用于确定焦点位置的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于确定光束焦点71的轴向位置的光束分析装置10，其特征在于， 所述光束焦点71是电磁辐射的能量束77的焦点76，或从能量束77解耦的样本束70的焦点，包括光束整形装置12、检测器40、以及评估装置45；其中 所述光束整形装置12 -被设置为在子光束释放平面19中，从所述能量束77或从与所述能量束77解耦的样本束70释放两个子光束72、73，其中 所述两个子光束72、73为第一子光束72和第二子光束73，其中 所述两个子光束72、73在所述子光束释放平面19内的横截面由相应的子孔32、33限定，其中 所述子孔32、33彼此分隔，并且所述子孔32、33的中心点位于彼此之间的距离k处，其中 所述子孔32、33的距离k限定第一横向方向31， -被设置为在所述检测器40上形成具有光束点92、93的强度分布83，并且为了从所述第一子光束72形成至少一个光束点92和从所述第二子光束73形成至少一个光束点93，将所述两个子光束72， 73成像到所述检测器40上，并且使所述两个子光束72、73中的至少一个在第二横向方向37上偏转和或偏移，以便在所述检测器40上的两个光束点92，93之间沿所述第二横向方向37形成距离w，其中 所述第二横向方向37与所述第一横向方向31垂直对齐，所述第一横向方向31和所述第二横向方向37是与相应的局部光轴11垂直的平面中的方向，并且其中 所述两个光束点92、93分别为所述第一子光束72的至少一个光束点92和所述第二子光束73的至少一个光束点93；其中 所述检测器40 -包括光辐射敏感的、二维空间分辨的传感器，其被设置为将照射在所述检测器40上的强度分布83转换为电信号，并且 -沿着所述两个子光束72、73的传播路径被布置在所述子光束释放平面19后面的距离s处；并且其中 所述评估装置45 -被设置为处理所述检测器40的电信号，该电信号表示所述检测器40上的强度分布83， -被设置为确定在所述检测器40上的两个光束点92、93的位置之间沿着第一横向方向31的距离a，以及 -被设置为基于所述距离a确定光束焦点71的轴向位置，和或基于所述距离a的变化确定所述光束焦点71的轴向位置的变化。

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