FEI 公司E·弗兰肯获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116666180B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310175175.5，技术领域涉及：H01J37/26；该发明授权带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正是由E·弗兰肯;B·J·詹森设计研发完成，并于2023-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正在说明书摘要公布了：带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正。带电粒子束显微镜系统以透射成像模式操作。在操作期间，带电粒子束微系统将带电粒子束引导至样本以产生图像。将束倾斜的时间序列以图案应用于被引导到样本的带电粒子束以产生图像的序列。在带电粒子束在束倾斜的时间序列中的一个束倾斜与束倾斜的时间序列中的顺序相邻的束倾斜之间转变时，捕捉图像序列中的至少一些图像。该图案被配置成引起图像序列中的图像之间的图像改变，其指示带电粒子束显微镜系统中的光学像差。
本发明授权带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正在权利要求书中公布了：1.一种方法，包括： 在带电粒子束显微镜系统以透射成像模式操作的情况下，将带电粒子束引导到样本，包括将束倾斜的时间序列以图案应用到带电粒子束以产生图像序列，其中在带电粒子束在束倾斜的时间序列中的一个束倾斜与束倾斜的时间序列中的顺序相邻的束倾斜之间转变时捕捉图像序列中的至少一些图像，并且其中图案被配置成在图像序列中的图像之间引起图像改变，所述图像改变指示带电粒子束显微镜系统中的光学像差； 捕捉图像序列；以及 从图像序列生成带电粒子束显微镜系统的一个或多个光学像差值的集合； 其中图像改变包括引起的图像变化，并且其中从图像序列生成带电粒子束显微镜系统的一个或多个光学像差值的集合包括测量图像序列中的连续图像之间的引起的图像变化并且将引起的图像变化拟合到光学像差模型，所述光学像差模型描述引起的图像变化、束倾斜和一个或多个光学像差的集合之间的关系；以及 其中，光学像差模型合并图案和图像序列之间的未知时间延迟。
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