江苏微导纳米科技股份有限公司张鹤获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种等离子体产生方法和处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116685039B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310037306.3，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权一种等离子体产生方法和处理方法是由张鹤;王亨;张良俊;韩方虎;杨柳设计研发完成，并于2023-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体产生方法和处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体产生方法和处理方法，等离子体产生方法包括：采用等离子体电源给处理腔内部的等离子体产生部件输出脉冲信号，以在所述处理腔内产生等离子体；其中，脉冲信号对应的脉冲宽度为0.5ms－1ms，脉冲间隔为4ms－7ms。处理方法包括：采用等离子体产生方法得到的等离子体在所述处理腔内进行等离子体处理。采用这种等离子体产生方法能有效的提高处理速率。
本发明授权一种等离子体产生方法和处理方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体产生方法，其特征在于，包括： 采用等离子体电源给处理腔内部的等离子体产生部件输出脉冲信号，以在所述处理腔内产生等离子体； 其中，脉冲信号对应的脉冲宽度为0.5ms-1ms，脉冲间隔为4ms-7ms。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214111 江苏省无锡市新吴区漓江路11号(经营场所 : 无锡市新吴区新硕路9-6号厂房)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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