深圳公大激光有限公司张成宝获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳公大激光有限公司申请的专利一种环形斑激光加工系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116967598B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311028692.6,技术领域涉及:B23K26/06;该发明授权一种环形斑激光加工系统是由张成宝;张帆;黄国溪;龙建跃设计研发完成,并于2023-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种环形斑激光加工系统在说明书摘要公布了:本申请提供一种环形斑激光加工系统,包括激光光源、第一透镜、激光晶体、第一分色镜,第二透镜、第二分色镜、第三分色镜、第三透镜、第四分色镜、第五分色镜、第四透镜、第六分色镜、振镜机构、目标工件、平台。该环形斑激光加工系统只需要采用一个激光光源即可生成复合激光,实现超高精度的复合激光加工效果,在加工过程中,主力激光可以采用330~367nm紫外激光,绿光激光可以用于主力激光加工或者辅助加热,辅助激光可以采用1000~1100nm的红外光,主要用于预热和热过渡。整个过程飞溅极小,非目标加工区域热影响小,极大地提高工件加工良率,尤其适用于超高精度工业激光加工领域,且激光器的光光转化效率高,生产制造成本也会更低廉。
本发明授权一种环形斑激光加工系统在权利要求书中公布了:1.一种环形斑激光加工系统,其特征在于,包括:激光光源1、第一透镜2、第一激光晶体3、第二激光晶体16、第一分色镜4,第二透镜5、第二分色镜7、第三分色镜8、第三透镜9、第四分色镜11、第五分色镜17、第四透镜18、第六分色镜19、振镜机构13、目标工件14、平台15; 激光光源1用于输出1000~1100nm的基频光束L; 第一透镜2用于对基频光束L进行能量会聚; 第一激光晶体3用于对基频光束L进行频率转换,产生500~550nm倍频光; 第二激光晶体16用于对1000~1100nm基频光束L和500~550nm倍频光的双波光束再次进行频率转换,转换后输出330~367nm的紫外光; 第一分色镜4镀有330~367nm的高反膜,同时镀500~550nm和1000~1100nm的增透膜,对经第一激光晶体3和第二激光晶体16转换之后产生的330~367nm紫外光与残余的500~550nm激光、1000~1100nm基频光进行分离,分离后的330~367nm的激光为第一激光光束L1,残余的500~550nm和1000~1100nm的激光为第二激光光束L2; 第二透镜5设于第一分色镜4反射激光的后方方向上,用于对经第一分色镜4反射的330~367nm的第一激光光束L1进行准直调节; 第二分色镜7镀有330~367nm的高反膜和500~550nm、1000~1100nm的增透膜,对经由第二透镜5准直后的330~367nm的激光光束进行反射转向; 所述第一分色镜4的透射激光的后方设有第三分色镜8,用于对经过第一分色镜4之后的第二激光光束L2分离成500~550nm的第三激光光束L3和1000~1100nm的第四激光光束L4,对500~550nm的第三激光光束L3进行反射转向,将1000~1100nm的第四激光光束L4通过穿透第三分色镜8的方式分离出来; 所述第三透镜9设于第三分色镜8反射激光的后方方向上,用于对经第三分色镜8反射的第三激光光束L3进行准直调节; 所述第四分色镜11设于第三透镜9的后方,将第一激光光束L1和第三激光光束L3调节至同一激光输出方向; 所述第三分色镜8的透射激光的后方设有第五分色镜17,所述第五分色镜17通过镀1000~1100nm的高反膜和500~550nm、330~367nm的增透膜的方式,用于对经过第三分色镜8之后的1000~1100nm的第四激光光束L4进行反射转向,将500~550nm、330~367nm的激光滤除; 所述第四透镜18设于第五分色镜17反射激光的后方方向上,用于对经第五分色镜17反射的第四激光光束L4进行准直调节; 所述第六分色镜19设于第四透镜18的后方,将第一激光光束L1、第三激光光束L3和第四激光光束L4调节至同一激光输出方向; 所述第六分色镜19的后方设有振镜机构13,所述振镜机构13,主要用于对由第四分色镜11传输来的第一激光光束L1、第三激光光束L3和第四激光光束L4复合光束进行整合; 所述目标工件14为需要被加工的元件; 所述平台15用于对目标工件14进行承载或夹持和移动,以方便对目标工件14的加工; 所述第四透镜18到第二激光晶体16的光程大于第三透镜9到第二激光晶体16的光程,所述第三透镜9到第二激光晶体16的光程大于第二透镜5到第二激光晶体16的光程,第一激光光束L1的输出光斑直径为r1,第三激光光束L3的输出光斑直径为r2,第四激光光束L4的输出光斑直径为r3,r3r2r1。
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