兰州空间技术物理研究所董茂进获国家专利权
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龙图腾网获悉兰州空间技术物理研究所申请的专利一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117051361B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311016768.3,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置是由董茂进;冯煜东;王小军;秦丽丽;王冠;冯尔鹏;蔡宇宏;韩仙虎;王毅;马凤英设计研发完成,并于2023-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置在说明书摘要公布了:本申请涉及镀膜防护技术领域,具体而言,涉及一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置,包括基膜、沉积辊、蒸发狭缝、气帘以及低温冷阱,其中:基膜紧贴覆盖在沉积辊上;蒸发狭缝设置在沉积辊的外侧,与加热腔连通;有机物通过加热腔,以气态分子形式从蒸发狭缝中喷出,与沉积辊上的基膜接触;气帘设置在蒸发狭缝的两侧,一端与蒸发狭缝连接,另一端与基膜之间形成第一缝隙;低温冷阱设置在气帘的外侧,一端与气帘连接,另一端与基膜之间形成第二缝隙。本申请通过在沉积辊区域边缘设置气帘与低温冷阱,将高温蒸发的有机物限制在沉积区以内,减少了对真空腔室与沉积辊的污染,解决了有机物蒸发对腔室内污染的难题。
本发明授权一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置在权利要求书中公布了:1.一种真空卷绕有机物蒸镀防护装置,其特征在于,包括基膜、沉积辊、蒸发狭缝、气帘以及低温冷阱,其中: 所述基膜紧贴覆盖在所述沉积辊上; 所述蒸发狭缝设置在所述沉积辊的外侧,与加热腔连通; 有机物通过加热腔,以气态分子形式从所述蒸发狭缝中喷出,与所述沉积辊上的基膜接触; 所述气帘设置在所述蒸发狭缝的两侧,一端与所述蒸发狭缝连接,另一端与所述基膜之间形成第一缝隙; 所述低温冷阱设置在所述气帘的外侧,一端与所述气帘连接,另一端与所述基膜之间形成第二缝隙; 所述第一缝隙的宽度为1-3mm; 所述第二缝隙的宽度<1mm。
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