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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种抛光垫真实接触状态的原位测量装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117161965B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311060792.7，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权一种抛光垫真实接触状态的原位测量装置及其使用方法是由周平;侯长余;邸宏宇;闫英;郭东明设计研发完成，并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抛光垫真实接触状态的原位测量装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种抛光垫真实接触状态的原位测量装置及其使用方法，所述装置包括基座、加载机构、Z向进给机构和观测机构，所述基座为中空圆管结构，所述加载机构安装在基座内的下部，所述Z向进给机构安装在基座内的中上部，所述观测机构通过Z向进给机构安装在基座内。本发明利用光学显微镜直接获得抛光垫的真实接触状态图像，测量结果更加准确可靠。本发明测量时只需要将装配好装置放置于抛光垫表面，待测量结束后移除，整个测量过程不破坏抛光垫，不影响后续的抛光工艺。本发明通过砝码块和托码套筒嵌套，可以保证加载的均匀性。本发明通过批量处理真实接触状态图像提取接触特征信息，可以实时分析化学机械抛光状态并指导材料去除稳定性控制。

本发明授权一种抛光垫真实接触状态的原位测量装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种抛光垫真实接触状态的原位测量装置，其特征在于：包括基座4、加载机构、Z向进给机构和观测机构，所述基座4为中空圆管结构，所述加载机构安装在基座4内的下部，所述Z向进给机构安装在基座4内的中上部，所述观测机构通过Z向进给机构安装在基座4内； 所述加载机构包括托码套筒2、砝码块3和蓝宝石观测窗口1，所述托码套筒2通过限位连接螺栓A12和限位连接螺栓B13与基座4活动连接；所述蓝宝石观测窗口1嵌入托码套筒2的底部；所述蓝宝石观测窗口1的下表面凸出托码套筒2下端面的距离为h，h20Ra，所述Ra为抛光垫的表面粗糙度；所述蓝宝石观测窗口1为双面抛光片，表面粗糙度Ra优于5nm；所述砝码块3嵌入托码套筒2的水平凹槽中，通过磁力贴吸附于托码套筒2水平凹槽的侧壁并定位； 所述Z向进给机构包括内螺纹套筒5、外螺纹旋钮6和限位支撑块9，所述内螺纹套筒5和外螺纹旋钮6通过螺纹转动连接；所述内螺纹套筒5外壁周向有三个高度相同的螺纹孔，并与基座4通过螺纹杆14固定，构成三点定位水平面；所述限位支撑块9嵌入外螺纹旋钮6的顶部；所述限位支撑块9通过限位连接螺栓C7和限位连接螺栓D8与基座4活动连接； 所述观测机构包括单筒显微镜10、CCD摄像机11，所述单筒显微镜10安装在限位支撑块9中心的凹槽台阶上，通过限位连接螺栓C7和限位连接螺栓D8与限位支撑块9固定；所述单筒显微镜10采用同轴光光源；所述CCD摄像机11安装在单筒显微镜10上方，与单筒显微镜10配套连接，并通过无线连接至计算机；所述计算机安装图像处理软件，用于批量处理CCD摄像机11的拍摄数据，获得真实接触状态图像，并统计接触特征信息。

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