西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司孟将获国家专利权
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龙图腾网获悉西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司申请的专利一种掺Nb的含钽氧化锡靶材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117247274B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311250365.5,技术领域涉及:C04B35/457;该发明授权一种掺Nb的含钽氧化锡靶材及其制备方法是由孟将;征卫星;罗文;左宁伟;胡强楠;李正飞;王欢;张子富;张帅;杨龙;马肖设计研发完成,并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掺Nb的含钽氧化锡靶材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明给出了一种掺Nb的含钽氧化锡靶材及其制备方法,属于靶材制造技术领域,该制备方法包括:步骤S1、将氧化锡粉末、氧化钽粉末和氧化铌粉末在水中混合均匀,得到固含量为40~80%的浆料;步骤S2、将聚乙烯羧酸分散剂加入所述浆料后,搅拌25~35分钟,然后砂磨处理,再加入聚乙烯醇粘结剂,分散25~35分钟后,喷雾造粒制粉;步骤S3、将步骤S2中所得的粉末冷压成型,得到冷压素坯;步骤S4、将冷压素坯冷等静压成型,得到冷等静压素坯;步骤S5、对冷等静压素坯依次进行脱脂烧结和表面加工处理,得到含钽氧化锡靶材。本发明能够得到晶粒尺寸均匀、体电阻率低、且密度高的Nb掺杂的含钽氧化锡靶材。
本发明授权一种掺Nb的含钽氧化锡靶材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种掺Nb的含钽氧化锡靶材制备方法,其特征在于,所述含钽氧化锡靶材制备方法包括如下步骤: 步骤S1、将氧化锡粉末、氧化钽粉末和氧化铌粉末在水中混合均匀,得到固含量为40~80%的浆料; 在所述步骤S1中,所述氧化锡粉末、氧化钽粉末和氧化铌粉末中的锡、钽和铌,以原子比计满足如下条件: TaSn+Ta=0.75~7.0%; NbTa+Nb=3.5~26.7%; 步骤S2、将聚乙烯羧酸分散剂加入所述浆料后,搅拌25~35分钟,然后砂磨处理,再加入聚乙烯醇粘结剂,分散25~35分钟后,喷雾造粒制粉; 所述聚乙烯羧酸分散剂、聚乙烯醇粘结剂和浆料的质量比为0.05~2:0.5~4:100; 所述砂磨处理中的砂磨转速为1000~2000rpm,砂磨时间为0.5~2h; 所述喷雾造粒的干燥转速为10000~30000rpm,干燥温度为80~120℃; 步骤S3、将步骤S2中所得的粉末在100~200MPa压力下冷压成型,得到冷压素坯; 步骤S4、将所述冷压素坯在200~350MPa压力下冷等静压成型,得到冷等静压素坯; 步骤S5、对所述冷等静压素坯依次进行脱脂烧结和表面加工处理,得到含钽氧化锡靶材; 在所述步骤S5中,所述脱脂烧结的工艺过程为:以0.2~0.7℃min升温速度,升温至520~690℃,保温12~38h后进行脱脂;再1~5℃min升温速度,升温至1420~1580℃,保温6~18h后进行烧结。
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