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龙图腾网获悉深圳无限光能技术有限公司申请的专利蒸镀设备及蒸镀工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117512522B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311392928.4，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权蒸镀设备及蒸镀工艺是由梁作;马昆松;任虎鸣设计研发完成，并于2023-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本蒸镀设备及蒸镀工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及一种蒸镀设备及蒸镀工艺，包括蒸发装置、缓冲装置及蒸镀装置；蒸发装置包括加热室以及第一加热模组，第一加热模组用于对放置在加热室内的待蒸发物体进行加热，以使待蒸发物体蒸发形成蒸汽；缓冲装置具有缓冲室以及多个填料球，缓冲室的进气口与加热室的出气口连通，各填料球均填充在缓冲室内；蒸镀装置具有蒸镀室，缓冲室的出气口位于蒸镀室内，用于向蒸镀室内喷射蒸汽。通过填充在缓冲室内的各填料球可以对蒸汽进行有效分散，从而使蒸汽在缓冲室内分散的更均匀，蒸镀时，将待蒸镀物体放置在缓冲室的出气口处，使材料蒸汽快速均匀的沉积在待蒸镀物体上，既提高了蒸镀薄膜厚度的均匀性和蒸镀工艺速率，也提高了蒸镀材料的利用率。

本发明授权蒸镀设备及蒸镀工艺在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸发装置、缓冲装置以及蒸镀装置； 所述蒸发装置包括加热室以及第一加热模组，所述第一加热模组用于对放置在所述加热室内的待蒸发物体进行加热，以使待蒸发物体蒸发形成蒸汽； 所述缓冲装置具有缓冲室以及多个填料球，所述缓冲室的进气口与所述加热室的出气口连通，各所述填料球均填充在所述缓冲室内，以便分散从所述缓冲室的进气口向缓冲室的出气口流动的蒸汽； 所述蒸镀装置具有蒸镀室，所述缓冲室的出气口位于所述蒸镀室内，用于向所述蒸镀室内喷射蒸汽； 所述填料球为具有中空腔体的空心球，所述填料球的外表面设有多个通气孔，各所述通气孔均与所述填料球的中空腔体连通；各所述填料球的中空腔体均通过其自身的通气孔与所述缓冲室连通；和或，相邻两个所述填料球之间具有间隙，使得蒸汽能够从相邻两个所述填料球之间通过； 多个所述填料球分为多个填料层，且沿着所述缓冲室进气口至所述缓冲室的出气口的方向，各所述填料层依次排布；每一个所述填料层所具有的填料球的数量为至少一个，同一所述填料层所具有的填料球的外径相同；沿着所述缓冲室的进气口至所述缓冲室的出气口的方向，各所述填料层所具有的填料球的外径以及通气孔的孔径都逐渐减小，各所述填料层所具有的填料球的数量逐渐增多。

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