应用材料公司德莫特·坎特维尔获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利时间序列故障检测、故障分类及转变分析获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117540242B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311355038.6，技术领域涉及：G06F18/24；该发明授权时间序列故障检测、故障分类及转变分析是由德莫特·坎特维尔设计研发完成，并于2017-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本时间序列故障检测、故障分类及转变分析在说明书摘要公布了：本文中公开了用于数据的时间序列瞬时分析的方法及系统。一种方法包括以下步骤：接收时间序列数据；生成包括随机化数据点的训练数据集；使用在时间窗内的这些随机化数据点集合来生成随机化数据点组合；基于这些随机化数据点组合来计算距离值；基于多个经计算的距离值来生成分类器；及使用该分类器来判定工艺的新的执行的期间所生成的新的时间序列数据匹配该时间序列数据的概率。还公开了一种用于执行该方法的系统。
本发明授权时间序列故障检测、故障分类及转变分析在权利要求书中公布了：1.一种用于来自半导体处理装置的传感器数据的时间序列转变分析的方法，包括以下步骤： 接收历史时间序列数据，所述历史时间序列数据是已在经由所述半导体处理装置进行的一个或多个半导体处理工艺的偏离行为期间由所述半导体处理装置的一个或多个传感器生成的用于半导体制造工艺的传感器数据； 生成训练数据，所述训练数据包含与所述历史时间序列数据的所述偏离行为的预期范围相关联的多个随机化数据点；以及 通过处理设备基于所述训练数据训练逻辑回归分类器，以生成经训练的逻辑回归分类器，其中所述经训练的逻辑回归分类器与逻辑回归相关联，所述逻辑回归指示从一个或多个第一数据点到一个或多个第二数据点的转变图案的位置，所述一个或多个第一数据点指示所述偏离行为，所述一个或多个第二数据点指示经由所述半导体处理装置进行的所述一个或多个半导体处理工艺的非偏离行为，其中所述转变图案在定位于所述转变图案上的反射点附近反射，所述经训练的逻辑回归分类器能够指示在所述一个或多个半导体处理工艺的新的执行期间所生成的新的时间序列数据匹配所述历史时间序列数据相对应的所述偏离行为的概率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励