杭州中欣晶圆半导体股份有限公司王烨华获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请的专利一种硅片氧化层的X射线衍射测量位错系统及检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117735236B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311600352.6,技术领域涉及:B65G47/90;该发明授权一种硅片氧化层的X射线衍射测量位错系统及检测方法是由王烨华设计研发完成,并于2023-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片氧化层的X射线衍射测量位错系统及检测方法在说明书摘要公布了:本发明涉及材料科学技术领域,具体涉及一种硅片氧化层的X射线衍射测量位错系统,包括用于对硅片材料氧化层进行错位测量的检测器本体、固定设在检测器本体正面的承载台和用于承载硅片材料的承载盒,还包括设置在承载台顶部的转运机构和设置在承载台顶部左侧用于对装有硅片材料的承载盒进行输送的传输组件,本发明通过使转运机构采用磁吸的方式对承载硅片材料的承载盒在传输过程中进行限位,提高传输的稳定性的同时,便于对不同尺寸的承载盒进行限位,进而便于对不同尺寸的硅片材料进行传输,方便对不同规格尺寸的硅片材料进行检测,且通过传输组件与转运机构配合,便于对不同规格尺寸的承载盒进行传输,便于实际使用。
本发明授权一种硅片氧化层的X射线衍射测量位错系统及检测方法在权利要求书中公布了:1.一种硅片氧化层的X射线衍射测量位错系统,包括用于对硅片材料氧化层进行错位测量的检测器本体、固定设在检测器本体正面的承载台和用于承载硅片材料的承载盒,检测器本体靠近承载台的一侧内部设置有机械爪,其特征在于:还包括设置在承载台顶部的转运机构和设置在承载台顶部左侧用于对装有硅片材料的承载盒进行输送的传输组件; 所述转运机构包括套设在承载台顶部的支撑台、设置在承载台顶部用于对承载盒进行限位的磁吸组件和设置在承载台顶部中心处用于辅助磁吸组件对承载盒进行磁吸限位的调节组件; 所述磁吸组件包括固定设在支撑台顶部且环形阵列排布的第一安装座、固定设在第一安装座内的电磁铁、与电磁铁固定连接并延伸至支撑台底部的导体柱和固定设在承载盒底部的磁性金属板,第一安装座的顶部均固定设有盖板,盖板的顶部与支撑台的顶部水平,支撑台的顶部开设有安装第一安装座且呈环形阵列排布的安装槽; 所述磁吸组件还包括设置在支撑台底部的第二安装座、固定设在第二安装座内的导体座和安装孔,导体座的顶部呈内凹形设计,所述导体柱的侧壁套设在导体座内; 所述调节组件包括与支撑台的顶部中心处转动连接且延伸至第二安装座底部的螺纹杆和与螺纹杆位于第二安装座底部的一端侧壁螺纹连接的挡板,挡板的顶部且位于螺纹杆的侧壁套设有第一弹簧,第二安装座的顶部开设有套设螺纹杆的通孔,支撑台的顶部中心处开设有凹槽,螺纹杆位于支撑台顶部的一端位于凹槽内,安装槽的内侧壁套设有封板,封板的顶部边缘处开设有环形阵列排布的插孔; 所述调节组件还包括固定设在凹槽底部内壁且以凹槽的中心点呈镜像对称的固定板和与固定板铰接的棘爪,所述螺纹杆位于凹槽内的一端侧壁固定套设有与棘爪啮合的棘轮,棘爪的内侧均固定设有与固定板固定连接的第二弹簧。
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