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广东先导稀材股份有限公司汤惠淋获国家专利权

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龙图腾网获悉广东先导稀材股份有限公司申请的专利一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117778951B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311850237.4,技术领域涉及:C23C14/08;该发明授权一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜及其制备方法与应用是由汤惠淋;陈丽;唐涛设计研发完成,并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本申请公开了一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜及其制备方法与应用,涉及薄膜材料技术领域。本申请通过采用特定生长温度的直流磁控溅射工艺制备氧化钆掺杂氧化铈层,并在直流磁控溅射工艺结束后在特定的气体气氛中进行第一次退火和第二次退火,有效改善了氧化钆掺杂氧化铈层在衬底上的附着力,并使其稳定性良好,使所得薄膜适合用作固体燃料电池电解质中。

本发明授权一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 采用直流磁控溅射工艺在衬底的至少一面上制备氧化钆掺杂氧化铈层,其中生长温度为80-200℃; 在第一气体气氛中进行第一次退火,再在第二气体气氛中进行第二次退火,得到氧化钆掺杂的氧化铈薄膜,其中第一气体包括氮气、惰性气体中的至少一种以及氧气,第二气体为空气; 所述第一次退火满足:温度为250-650℃,时间为2-5h,压力为0.4-0.8Pa; 所述第二次退火满足:温度为350-650℃,时间为2-3h,压力为1×104-1×105Pa。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东先导稀材股份有限公司,其通讯地址为:511517 广东省清远市清新区禾云镇工业区(鱼坝公路旁);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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