西安迈驰半导体科技有限公司贺健民获国家专利权
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龙图腾网获悉西安迈驰半导体科技有限公司申请的专利一种用于ESD保护的低容低钳位纵向SCR器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117790556B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410005638.8,技术领域涉及:H10D18/00;该发明授权一种用于ESD保护的低容低钳位纵向SCR器件是由贺健民;王康;张关保;张彪设计研发完成,并于2024-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于ESD保护的低容低钳位纵向SCR器件在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于ESD保护的低容低钳位纵向SCR器件,包括N型硅衬底,N型硅衬底的正面形成有P型外延层,背面形成有背面金属层,在其内部还设有深槽金属连接孔;深槽金属连接孔内均填充有金属铝,且其一端与背面金属层相接,另一端深入P型外延层内,形成短路孔结构;P型外延层上设置有N型外延层,P型外延层和N型外延层之间设置有N型埋层;N型外延层上形成有P型重掺杂区和隔离深沟槽;隔离深沟槽依次穿过N型埋层和P型外延层,深入至N型硅衬底内;P型重掺杂区与正面金属层相接;P型重掺杂区和N型外延层上形成有介质层。本发明结构简单、成本低、ESD和浪涌防护能力强,满足应用的需求。
本发明授权一种用于ESD保护的低容低钳位纵向SCR器件在权利要求书中公布了:1.一种用于ESD保护的低容低钳位纵向SCR器件,其特征在于:包括N型硅衬底101,所述N型硅衬底101的正面形成有P型外延层102,背面形成有背面金属层110,在其内部还间隔设有多个深槽金属连接孔109;多个深槽金属连接孔109内均填充有金属铝,且其一端与背面金属层110相接,另一端伸出N型硅衬底101正面,深入P型外延层102内,形成短路孔结构; 所述P型外延层102上设置有N型外延层104,所述P型外延层102和N型外延层104之间设置有N型埋层103;所述N型外延层104上形成有P型重掺杂区105,以及位于P型重掺杂区105两侧的隔离深沟槽106; 所述隔离深沟槽106向下延伸,依次穿过N型埋层103和P型外延层102,深入至N型硅衬底101内;所述P型重掺杂区105与正面金属层108相接;所述P型重掺杂区105和N型外延层104上形成有介质层107,所述介质层107位于正面金属层108周围; 所述正面金属层108与P型重掺杂区105相接为SCR器件的阳极Anode引出;所述背面金属层110与N型硅衬底101相接为SCR器件的阴极Cathode引出。
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