广东思沃先进装备有限公司杨善斌获国家专利权
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龙图腾网获悉广东思沃先进装备有限公司申请的专利贴膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117954357B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410261455.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权贴膜装置是由杨善斌;范志平;刘攀;卢少君设计研发完成，并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本贴膜装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种贴膜装置，其包括：工作台，其上形成有作业区域；在工作台上设置有辅助单元、卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于卷放单元和第一卷收单元之间、且位于作业区域上方的压合单元；辅助单元设置于工作台内部，包括用于承载晶圆升降以进出作业区域的承载机构、用于对晶圆上表面清洁及整平的辅助机构；卷放单元、第一卷收单元和压合单元均能够在工作台上水平移动以进入或离开作业区域；在卷放单元和第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块。本申请提供的贴膜装置，既能适配不同厚度的晶圆，也能避免晶圆边缘起翘导致的贴膜不良率问题，还能缩短整个贴膜周期，贴膜效率较高。
本发明授权贴膜装置在权利要求书中公布了：1.一种贴膜装置，用于对晶圆粘贴膜层，其特征在于，包括： 工作台，其上形成有作业区域； 在所述工作台上设置有辅助单元、卷放单元、第一卷收单元、第二卷收单元和位于所述卷放单元和所述第一卷收单元之间、且位于所述作业区域上方的压合单元； 所述辅助单元设置于所述工作台内部，包括用于承载所述晶圆升降以进出所述作业区域的承载机构、用于对所述晶圆上表面清洁及整平的辅助机构； 所述卷放单元、所述第一卷收单元和所述压合单元均能够在所述工作台上水平移动以进入或离开所述作业区域；在所述卷放单元和所述第一卷收单元上相对的一侧分别设置有均能够移动以靠近或远离工作台面的剥膜模块和收膜模块； 所述卷放单元用于释放胶膜，所述剥膜模块的剥离端用于将所述胶膜上的粘接层和保护层剥离，所述第二卷收单元用于卷收所述保护层，所述压合单元用于将所述粘接层压合于所述晶圆，所述第一卷收单元用于卷收压合后多余的所述粘接层。
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