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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司谢鑫获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利硅片输送装置及硅片输送方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117995735B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410089202.1,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权硅片输送装置及硅片输送方法是由谢鑫;刘大鹏;贺佳兵;陈灿荣;卜湘军设计研发完成,并于2024-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

硅片输送装置及硅片输送方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种硅片输送装置,包括:多个装片工位,用于放置未加工硅片或已加工硅片,当任意一个装片工位处于空置状态时,其余装片工位处于放置状态;第一卸片工位用于放置已加工硅片或者放置未加工硅片;第一搬运机构用于将未加工硅片或者已加工硅片在装片工位和第一卸片工位之间转移;第二搬运机构用于将未加工硅片或者已加工硅片在装片工位和第一卸片工位之间转移;控制器被配置为:控制第一搬运机构将第一卸片工位处的已加工硅片转移至处于空置状态的装片工位;以及,控制第二搬运机构将处于放置状态的装片工位处的未加工硅片转移至第一卸片工位处。本发明的硅片输送装置,能够提高硅片的输送效率。

本发明授权硅片输送装置及硅片输送方法在权利要求书中公布了:1.硅片输送装置,其特征在于,包括: 多个装片工位,用于放置未加工硅片或已加工硅片,所述装片工位具有放置有所述未加工硅片或所述已加工硅片的放置状态,以及未放置所述未加工硅片或所述已加工硅片的空置状态,其中,当任意一个所述装片工位处于所述空置状态时,其余所述装片工位处于所述放置状态; 第一卸片工位,用于放置已加工硅片或者放置所述未加工硅片; 第一搬运机构,用于将所述未加工硅片或者所述已加工硅片在所述装片工位和所述第一卸片工位之间转移; 第二搬运机构,用于将所述未加工硅片或者所述已加工硅片在所述装片工位和所述第一卸片工位之间转移; 控制器,通讯连接于所述第一搬运机构和所述第二搬运机构,所述控制器被配置为:控制所述第一搬运机构将所述第一卸片工位处的所述已加工硅片转移至处于所述空置状态的所述装片工位,以使处于所述空置状态的所述装片工位切换为所述放置状态;以及,控制所述第二搬运机构将处于所述放置状态的所述装片工位处的所述未加工硅片转移至所述第一卸片工位处,以使处于所述放置状态的所述装片工位切换为所述空置状态; 所述硅片输送装置还包括第一加工输送线,所述第一加工输送线分别延伸至所述第一卸片工位与外部的加工设备,所述控制器还被配置为:控制所述第一加工输送线将所述未加工硅片从所述第一卸片工位转移至所述加工设备,和或,控制所述第一加工输送线将所述已加工硅片从所述加工设备转移至所述第一卸片工位; 所述硅片输送装置还包括物料输送线,所述物料输送线延伸至所述装片工位,所述控制器还被配置为:控制所述物料输送线将所述未加工硅片转移至所述装片工位,和或,控制所述物料输送线将所述已加工硅片转移出所述装片工位; 所述控制器还被配置为:当处于所述放置状态的所述装片工位上放置有所述已加工硅片时,所述控制器还控制所述物料输送线将所述已加工硅片转移出所述装片工位,以使处于所述放置状态的所述装片工位切换为所述空置状态,以及,所述控制器还控制所述物料输送线将所述未加工硅片转移至处于所述空置状态的所述装片工位处。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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