广东聚华印刷显示技术有限公司李松举获国家专利权
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龙图腾网获悉广东聚华印刷显示技术有限公司申请的专利一种掩膜装置以及薄膜沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118272776B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211726956.0，技术领域涉及：C23C16/04；该发明授权一种掩膜装置以及薄膜沉积设备是由李松举;孙贤文;付东设计研发完成，并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜装置以及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本申请实施例涉及显示器件制造技术领域，涉及一种掩膜装置，包括掩膜本体具有非沉积区域以及镂空的沉积区域；非沉积区域用于与待沉积件的非镀膜区域对应，且非沉积区域具有第一气流通道，第一气流通道用于与待沉积件的非镀膜区域连通。本申请还涉及一种薄膜沉积设备。本申请通过在非沉积区域中设置第一气流通道，使流入掩膜本体的非沉积区域与待沉积件的非镀膜区域之间的气体，会从第一气流通道中排出，从而实现防止气体沉积于待沉积件的非镀膜区域上，进而避免阴影现象的产生。
本发明授权一种掩膜装置以及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种掩膜装置，其特征在于，包括掩膜本体； 所述掩膜本体具有非沉积区域以及镂空的沉积区域； 所述非沉积区域用于与待沉积件的非镀膜区域对应，且所述非沉积区域具有第一气流通道，所述第一气流通道用于与所述待沉积件的所述非镀膜区域连通； 所述掩膜本体包括沉积隔板以及间隔设置的第一掩膜板和第二掩膜板； 所述沉积隔板设于所述非沉积区域和所述沉积区域之间； 所述第一掩膜板和所述第二掩膜板均设于所述非沉积区域，所述沉积隔板还设于所述第一掩膜板和所述第二掩膜板之间；所述第一气流通道由所述第一掩膜板、所述第二掩膜板以及所述沉积隔板围合形成； 所述第二掩膜板开设有与所述第一气流通道连通的孔道，所述孔道用于连通所述第一气流通道以及所述待沉积件的所述非镀膜区域； 所述掩膜装置还包括支撑件和掩膜框架； 所述支撑件设于所述第一气流通道内，且所述支撑件的两端分别与所述第一掩膜板和所述第二掩膜板抵接； 所述第一掩膜板和所述第二掩膜板均与所述掩膜框架连接，且所述掩膜框架开设有与所述第一气流通道连通的至少一条第二气流通道。
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