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龙图腾网获悉广东思沃先进装备有限公司申请的专利接近式曝光机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118502204B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410887671.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权接近式曝光机是由王建勋;张成宣;程彦;倪兴荣设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本接近式曝光机在说明书摘要公布了：本申请提供了一种接近式曝光机。其中：光源系统中的曝光源和背光源的出光方向同轴设置，二向镜倾斜设置于曝光源和背光源之间，视觉装置设置于二向镜一侧，二向镜能够透射曝光源的光且能够反射背光源的光以使视觉装置成像；掩膜载台设置于机架且位于二向镜与曝光载台之间，用于装载并驱动掩膜板沿横向或纵向位移调整；曝光载台用于承载并传送硅片进入、固定或离开曝光位，其上的传送装置包括驱动机构和呈环形的透气载带；吸附台用于提供负压并使得透气载带表面形成负压，透气载带用于传送或固定硅片，在吸附台与透气载带之间还设置有透气柔性件。本申请提供的接近式曝光机，通过简单的结构实现高精度的定位，能够降低设备成本。

本发明授权接近式曝光机在权利要求书中公布了：1.一种接近式曝光机，其特征在于，包括机架以及设置于所述机架的光源系统、掩膜载台和曝光载台，其中： 所述光源系统包括曝光源、二向镜、视觉装置和背光源，所述曝光源和所述背光源的出光方向相向设置且二者的光轴位于同一轴线上，所述二向镜倾斜设置于所述曝光源和所述背光源之间，所述视觉装置设置于所述二向镜一侧，所述二向镜能够透射所述曝光源的光且能够反射所述背光源的光以使所述视觉装置成像； 所述掩膜载台设置于所述机架且位于所述二向镜与所述曝光载台之间，所述掩膜载台用于装载掩膜板并驱动掩膜板进行横向或纵向位移调整； 所述曝光载台用于承载并传送硅片进入、固定或离开曝光位，所述曝光载台包括吸附台和传送装置，所述传送装置包括驱动机构和呈环形的透气载带；所述透气载带的顶部内侧周面正对所述吸附台上的吸附区域；所述吸附台用于提供负压并使得所述透气载带表面形成负压，所述透气载带用于传送或固定硅片，在所述吸附台与所述透气载带之间还设置有透气柔性件。

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