广东先导稀材股份有限公司汤惠淋获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导稀材股份有限公司申请的专利一种叠层薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118726910B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410717969.4，技术领域涉及：C23C14/18；该发明授权一种叠层薄膜及其制备方法是由汤惠淋;陈丽;唐涛设计研发完成，并于2024-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种叠层薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于薄膜制备技术领域，公开了一种叠层薄膜及其制备方法，该叠层薄膜，包括钛薄膜和沉积在钛薄膜上的铟铈钛钽氧化物薄膜；所述钛薄膜的厚度占叠层薄膜总厚度的5‑15％。本发明通过控制叠层薄膜中的钛薄膜的厚度占比，发现在该厚度占比范围下的叠层薄膜不仅仅具有较低的方阻，还有效提升了薄膜的透过率，获得了电阻低且透过率更高、反射率更低的薄膜。
本发明授权一种叠层薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种叠层薄膜，其特征在于，包括钛薄膜和沉积在钛薄膜上的铟铈钛钽氧化物薄膜；所述钛薄膜的厚度占叠层薄膜总厚度的5-15%；所述钛薄膜的厚度为5-15nm，所述铟铈钛钽氧化物薄膜的厚度为85-95nm。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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