京东方科技集团股份有限公司张亚飞获国家专利权
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龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司申请的专利金属网格的制备方法和天线的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119096336B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202380008495.X,技术领域涉及:H01L21/311;该发明授权金属网格的制备方法和天线的制备方法是由张亚飞;张东东;贾孟文;张旭东设计研发完成,并于2023-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属网格的制备方法和天线的制备方法在说明书摘要公布了:本公开提供一种金属网格的制备方法和天线的制备方法,属于电子器件技术领域。本公开的金属网格的制备方法,其包括:提供衬底基板;在所述衬底基板上形成介质层,并利用电感耦合等离子设备对所述介质层形成干法刻蚀,形成网格状的凹槽。
本发明授权金属网格的制备方法和天线的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种金属网格的制备方法,其包括: 提供衬底基板; 在所述衬底基板上形成介质层,并利用电感耦合等离子设备对所述介质层形成干法刻蚀,形成网格状的凹槽;所述介质层包括叠层设置的第一介质层和第二介质层,且所述第一介质层和第二介质层的厚度不同; 其中,所述第一介质层的材料为环氧树脂,所述第一介质层的厚度为5.5μm。
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