中国电子科技集团公司第四十三研究所兰耀海获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十三研究所申请的专利一种LTCC基板叠层对位偏差量的计算方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119233553B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411383147.3,技术领域涉及:H05K3/46;该发明授权一种LTCC基板叠层对位偏差量的计算方法是由兰耀海;吕洋;沐方清;马涛;王飞设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LTCC基板叠层对位偏差量的计算方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种LTCC基板叠层对位偏差量的计算方法,该方法包括以下步骤:叠层对位偏差量标记孔及叠压对位孔的冲孔加工;对叠层对位偏差量标记孔进行浆料填充;在最上面一层生瓷片上印刷切割线;对生瓷片进行叠层、等静压和生切处理;计算基板中各层生瓷片的叠层对位偏差量。本发明可以对基板叠层对位偏差量情况精确到具体的任意层,从而为每个基板提供其具体的叠层偏差数据,对于某些对叠层精度有明确要求的基板提供筛选数据,剔除偏差量不符合要求的基板,提高生产质量。
本发明授权一种LTCC基板叠层对位偏差量的计算方法在权利要求书中公布了:1.一种LTCC基板叠层对位偏差量的计算方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: S1、叠层对位偏差量标记孔及叠压对位孔的冲孔加工 采用生瓷片加工基板,将每层生瓷片划分成多个相同大小的正方形区域;在每个正方形区域的每条边长的外侧分别加工一组标记孔,作为叠层对位偏差量标记孔;每组标记孔均包括多个等距离分布且直径为D的圆形标记孔,且同一组标记孔中各个圆形标记孔的圆心位于同一条直线上;在每层生瓷片沿X方向的两侧分别加工一组叠压对位孔;每组叠压对位孔包括多个等距离分布且直径相同的圆形对位孔,且同一组叠压对位孔中各个圆形对位孔的圆心位于同一条直线上; S2、对叠层对位偏差量标记孔进行浆料填充 根据每层生瓷片上的叠层对位偏差量标记孔的位置,制作多张与各层生瓷片一一对应的填孔网版;在每层生瓷片相对应的填孔网版的相应位置处,切割出与该层生瓷片上的各叠层对位偏差量标记孔大小相同且一一对应的多个通孔;在填孔网版上铺上待填孔浆料,将与该填孔网版对应的生瓷片放置在印刷机真空吸附台上,利用印刷机将填孔网版上的填孔浆料压入各个叠层对位偏差量标记孔中,进行浆料填孔,并对完成浆料填孔的生瓷片进行烘干处理; S3、在最上面一层生瓷片上印刷切割线 制作一块印刷网版,在印刷网版上设计多条切割线;每一条切割线,位于同一行或同一列上的各个标记孔的圆心所在直线的正上方;将最上面一层生瓷片放置在印刷机真空吸附台上,利用印刷机及印刷网版,在最上面一层生瓷片上印刷切割线,在最上面一层生瓷片的所有标记孔的正上方形成了8条切割线;切割线印刷完成后,进行烘干处理; S4、对生瓷片进行叠层、等静压和生切处理 将所有生瓷片按照设计顺序依次叠层,随后塑封后放入等静压力机中将所有层生瓷片粘附在一起;将压好的整版生瓷片取出后放入热切机中,沿着所有印刷好的各条切割线中心,对整版生瓷片分别沿着X和Y方向切割,得到多个基板;切割完成后,每个基板四周的四组标记孔均被纵向切割,露出填充的浆料; S5、计算基板中各层生瓷片的叠层对位偏差量 获取基板每一层生瓷片四周的各个标记孔露出的浆料沿水平方向的长度L,根据长度L以及叠层对位偏差量标记孔的直径D,分别计算每一层生瓷片沿X方向的叠层对位偏差量以及沿Y方向的叠层对位偏差量,进而确定该层生瓷片的叠层对位偏差量; 所述步骤S5中,计算基板中各层生瓷片的叠层对位偏差量,具体包括以下步骤: S51、获取基板每一层生瓷片四周的各个标记孔露出的浆料沿水平方向的长度L; S52、利用公式1分别计算出沿X方向的各个标记孔的叠层对位偏差量以及沿Y向的各个标记孔的叠层对位偏差量: 1; S53、将沿X方向分布的各个标记孔的叠层对位偏差量求平均值得到,将沿Y方向分布的各个标记孔的叠层对位偏差量求平均值;为基板沿X方向的偏差量,为基板沿Y方向的偏差量; S54、利用公式2,分别计算出每一层生瓷片的叠层对位偏差量: 2。
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