北京交通大学冯其波获国家专利权
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龙图腾网获悉北京交通大学申请的专利激光六自由度几何误差测量系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119334243B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411416017.5,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权激光六自由度几何误差测量系统及方法是由冯其波;郑发家;龙飞;张斌;杨婧设计研发完成,并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光六自由度几何误差测量系统及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种激光六自由度几何误差测量系统及方法,属于光学精密测量技术领域,系统包括光线分配单元、靶镜单元和测量单元,利用光线分配单元的分光镜、靶镜单元的第二偏振分光镜和测量单元的第六光电探测器和第七光电探测器的方案设计,可从分束光L12中单独分出一束光作为独立的一路光射向靶镜单元,第二偏光分光镜作为滚转角的敏感元件,当整个靶镜单元有滚转角时,第二偏振分光镜随之转动,改变通过的分束光的偏振状态,使得第六光电探测器和第七光电探测器上的光强发生变化,通过光强变化直接计算滚转角,减少基于偏振敏感测量滚转角的影响因素,有效解决了现有技术中六自由度误差测量时滚转角难以精确测量的难题。
本发明授权激光六自由度几何误差测量系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种激光六自由度几何误差测量系统,其特征在于,包括光线分配单元、靶镜单元和测量单元;其中, 所述光线分配单元包括:用于产生出射光L1的激光出射模块、用于对所述出射光L1进行分束的第一偏振分光镜、用于对所述出射光L1被所述第一偏振分光镜分出的分束光L12进行再分束的分光镜、用于对所述分束光L12被所述分光镜透射分出的干涉参考光L121进行后向反射的固定角锥棱镜、用于改变所述出射光L1被所述第一偏振分光镜分出的分束光L11的偏振状态的λ4波片; 所述靶镜单元包括:用于对所述分束光L12被所述分光镜反射分出的分束光L122进行再分束的第二偏振分光镜、用于对经过所述λ4波片的分束光L11进行反射和透射的半透半反件和用于对所述分束光L11被所述半透半反件透射的分束光L111进行后向反射的移动角锥棱镜; 所述分束光L111被所述移动角锥棱镜后向反射再次经过所述第一偏振分光镜被再次分束为干涉测量光L111′和分束光L111″;所述分束光L11被所述半透半反件反射后为分束光L112;所述干涉参考光L121被所述固定角锥棱镜后向反射后与所述干涉测量光L111′形成合束光L3;所述合束光L3通过第一偏振片后发生干涉; 所述测量单元包括:用于分别接收所述分束光L122被所述第二偏振分光镜分束的两个参考光线的第六光电探测器和第七光电探测器、用于接收所述分束光L111″的第一光电探测器、用于接收发生干涉后的合束光L3的第二光电探测器和用于接收被聚焦透镜聚焦的分束光L112的第三光电探测器;其中, 所述第六光电探测器和所述第七光电探测器用于测量所述靶镜单元的绕X轴转动的角度量误差;所述第一光电探测器用于测量所述靶镜单元沿Y轴、Z轴两个方向的线性量误差;所述第二光电探测器用于配合干涉测长模块测量所述靶镜单元沿X轴的线性量误差;所述第三光电探测器用于测量所述靶镜单元绕Y轴和Z轴转动的角度量误差。
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