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中环领先半导体科技股份有限公司王彬获国家专利权

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龙图腾网获悉中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种研磨机流砂管连接方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119347639B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411809129.7,技术领域涉及:B24B37/08;该发明授权一种研磨机流砂管连接方法是由王彬;黄春峰;姚科新;曹锦伟设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种研磨机流砂管连接方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种研磨机流砂管连接方法,流砂管呈倾斜式连接,一端与上盘流砂槽连接,另外一端与上磨盘连接,所述流砂管与所述上盘流砂槽的连接端朝向所述上盘流砂槽的旋转方向倾斜。本发明的有益效果是解决了流砂管连接不合理导致研磨过程中砂浆在盘内分布不均的问题,减少了硅片的暗裂以及表面蹭伤,改善了硅片研磨的TTV参数,提升了硅片的研磨效果,保证了产品的质量。

本发明授权一种研磨机流砂管连接方法在权利要求书中公布了:1.一种研磨机流砂管连接方法,其特征在于:流砂管呈倾斜式连接,一端与上盘流砂槽连接,另外一端与上磨盘连接,所述流砂管与所述上盘流砂槽的连接端朝向所述上盘流砂槽的旋转方向倾斜,所述流砂管的倾斜角设置为50~70°,包括以下步骤: 将所述上磨盘的流砂孔分成多组流砂孔; 将所述流砂管分成多组流砂管; 按照所述多组流砂孔的分组,依次连接所述多组流砂管,使所述流砂管呈所述倾斜式连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中环领先半导体科技股份有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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