广东越海集成技术有限公司赵飞龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东越海集成技术有限公司申请的专利一种超镜头晶圆、超镜头晶圆制造工艺及其制造设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119355853B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411519318.0，技术领域涉及：G02B3/00；该发明授权一种超镜头晶圆、超镜头晶圆制造工艺及其制造设备是由赵飞龙;赖芳奇;房玉亮;李媛媛设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超镜头晶圆、超镜头晶圆制造工艺及其制造设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超镜头晶圆、超镜头晶圆制造工艺及其制造设备，用于光学成像设备技术领域。本发明的超镜头晶圆包括承载基底，以及连接固定于承载基底上的超透镜晶圆，本发明的制造工艺，包括以下步骤：利用反应离子对超透镜晶圆的预设暴露位置进行刻蚀，以使超透镜晶圆的目标氧化物层上形成开槽，其中，开槽沿预设方向贯穿目标氧化物层；沿开槽往承载基底方向进行切割，直至切割透承载基底，由于采用了刻蚀的方式将目标氧化物层分割，因此能够很好地规避机械切割目标氧化物层而出现崩边和面内裂纹问题，有效提高了超镜头晶圆的产品良率。
本发明授权一种超镜头晶圆、超镜头晶圆制造工艺及其制造设备在权利要求书中公布了：1.一种超镜头晶圆制造工艺，所述超镜头晶圆包括承载基底，以及连接固定于所述承载基底上的超透镜晶圆，其特征在于，所述超透镜晶圆包括堆叠布置的目标氧化物层和基底层；所述承载基底与所述目标氧化物层连接固定，所述基底层与所述承载基底分别位于所述目标氧化物层的两侧表面； 包括以下步骤： 在所述基底层上形成预设暴露位置或在所述目标氧化物层上形成预设暴露位置； 利用反应离子对所述超透镜晶圆的预设暴露位置进行刻蚀，以使所述超透镜晶圆的目标氧化物层上形成开槽，其中，所述开槽沿预设方向贯穿所述目标氧化物层； 沿所述开槽往所述承载基底方向进行切割，直至切割透所述承载基底。
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