北京航天控制仪器研究所刘红涛获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航天控制仪器研究所申请的专利一种离子能量筛选装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119381231B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411361430.6,技术领域涉及:H01J37/05;该发明授权一种离子能量筛选装置及方法是由刘红涛;李洋;陈坤鹏;郑捷;王兰江;韩中元;刘猛;赵明宇设计研发完成,并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子能量筛选装置及方法在说明书摘要公布了:一种离子能量筛选装置及方法,包括:绝缘套筒的头部固定连接有前级;绝缘套筒的内侧沿轴向间隔设置有n个绝缘环和孔栅,n个绝缘环和孔栅形成多腔体组件;孔栅上加工有多个贯穿孔作为网孔,用于让等离子体通过;绝缘套筒的内侧还安装有收集极,收集极位于所述多腔体组件的后端,绝缘套筒的尾部固定连接有端盖,端盖用于封闭绝缘套筒的尾部;收集极用于收集筛选后的离子;陶瓷垫片套装在端盖的外侧。本发明通过在多个孔栅施加不同电压,达到排除电子,筛选离子的效果。并且能够控制获取具有一定离子能量范围的离子。在真空离子镀膜过程中,既能够用于对离子能量范围进行检测,也能够控制离子能量得到不同物理性能的膜层。
本发明授权一种离子能量筛选装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种离子能量筛选装置,其特征在于,包括:前级1、绝缘环、绝缘套筒7、孔栅、收集极12、端盖13和陶瓷垫片14; 绝缘套筒7的头部固定连接有前级1,前级1的顶端加工有用于让等离子体通过的通孔; 绝缘套筒7的内侧沿轴向间隔设置有多个绝缘环和孔栅,多个绝缘环和孔栅形成多腔体组件;绝缘环用于对孔栅起到轴向限位的作用; 孔栅上加工有多个贯穿孔作为网孔,用于让等离子体通过; 绝缘套筒7的内侧还安装有收集极12,收集极12位于所述多腔体组件的后端,绝缘套筒7的尾部固定连接有端盖13,端盖13和收集极12之间还设置有一个绝缘环;端盖13用于封闭绝缘套筒7的尾部; 收集极12用于收集筛选后的离子; 陶瓷垫片14套装在端盖13的外侧,用于对端盖13与绝缘套筒7固定连接的轴向位置进行限位调整。
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