买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种硅通孔产品的抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119501693B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411610330.2，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权一种硅通孔产品的抛光方法是由邱昭晖;熊小敏;江波设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅通孔产品的抛光方法在说明书摘要公布了：本发明涉及硅通孔产品抛光技术领域，更具体地，涉及一种硅通孔产品的抛光方法，其包括以下步骤：S1：确定电流变抛光机、弹性导电件、开设有通腔的绝缘支撑板和待抛光工件；S2：将绝缘支撑板固定于电流变抛光机的工件支撑平台上；将弹性导电件放入通腔；使弹性导电件的外表面均附着导电油脂；S3：将待抛光工件固定在绝缘支撑板上；使弹性导电件的另一端与一个硅通孔抵接，硅通孔的中心线与抛光电极的旋转轴线重合；S4：倒电流变抛光液；S5：抛光电极连接电压源正极，工件支撑平台连接电压源负极或接地；然后驱动抛光电极旋转；S6：将待抛光工件表面的金属小圆点去除。本发明可以在不损伤待抛光工件的绝缘层和硅通孔的情况下，将金属层完全去除。

本发明授权一种硅通孔产品的抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种硅通孔产品的抛光方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：确定电流变抛光机、弹性导电件2、开设有通腔301的绝缘支撑板3和待抛光工件4； S2：将所述绝缘支撑板3固定于所述电流变抛光机的工件支撑平台6上，接着将所述弹性导电件2放入所述通腔301，使所述弹性导电件2的一端与所述电流变抛光机的工件支撑平台6连接；然后向所述通腔301倒入导电油脂，并且使所述弹性导电件2的外表面均附着导电油脂； S3：将所述待抛光工件4固定在所述绝缘支撑板3上，再调整所述电流变抛光机的抛光电极1的位置使其抛光范围足以覆盖所述待抛光工件4上的金属层7，并且使所述弹性导电件2的另一端与所述待抛光工件4的至少一个硅通孔401抵接；与所述弹性导电件2抵接的硅通孔401中，有一个的中心线与所述抛光电极1的旋转轴线重合； S4：在所述待抛光工件4表面倒上电流变抛光液，使所述电流变抛光液充满所述待抛光工件4与所述电流变抛光电极1之间的间隙； S5：将所述电流变抛光机的抛光电极1连接电压源的正极，同时将所述工件支撑平台6连接电压源的负极或接地，然后驱动所述电流变抛光机的抛光电极1旋转； S6：将所述待抛光工件4表面残留的一个金属圆点去除。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中山大学，其通讯地址为：510275 广东省广州市海珠区新港西路135号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。