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龙图腾网获悉广东晶智光电科技有限公司申请的专利不规则大尺寸碲锌镉衬底片的表面加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119526135B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411965360.5，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权不规则大尺寸碲锌镉衬底片的表面加工方法是由朱照想;黎子锋;狄聚青;肖溢设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本不规则大尺寸碲锌镉衬底片的表面加工方法在说明书摘要公布了：一种不规则大尺寸碲锌镉衬底片的表面加工方法包括步骤：S1，将不规则大尺寸的区分好AB面的碲锌镉晶片清洁干净；S2，使用蓝宝石晶圆作为基片；S3，上蜡贴片，使得碲锌镉晶片与蓝宝石晶圆贴合并粘接固定在一起；S4，减薄机单面减薄，包括子步骤：S41，将贴合并粘接固定在一起的碲锌镉晶片与蓝宝石晶圆放到减薄机的工作台上，砂轮的端面相对工作台的倾角为0.0057°，S42，砂轮多步加工；S5，单抛机CMP抛光；S6，下蜡：从单抛机上取下碲锌镉晶片和蓝宝石晶圆，将碲锌镉晶片的A面与蓝宝石晶圆之间的白石蜡去除干净；S7，重复步骤S1至步骤S6，针对碲锌镉晶片的A面进行表面加工，最终得到碲锌镉晶片是TTV≤2μm、Ra≤1nm。

本发明授权不规则大尺寸碲锌镉衬底片的表面加工方法在权利要求书中公布了：1.一种不规则大尺寸碲锌镉衬底片的表面加工方法，其特征在于，包括步骤： S1，晶片清洁：将不规则大尺寸的区分好AB面的碲锌镉晶片100清洁干净； S2，提供基片：使用蓝宝石晶圆200作为基片，蓝宝石晶圆200的尺寸使得蓝宝石晶圆200的表面轮廓涵盖碲锌镉晶片100，蓝宝石晶圆200的表面TTV≤1μm； S3，上蜡贴片，包括子步骤： S31，在上蜡机1上在蓝宝石晶圆200的表面上上白石蜡300； S32，使碲锌镉晶片100的A面与蓝宝石晶圆200对中地贴合； S33，加压冷却，通过加压冷却使得碲锌镉晶片100与蓝宝石晶圆200贴合并粘接固定在一起； S4，减薄机单面减薄，包括子步骤： S41，将贴合并粘接固定在一起的碲锌镉晶片100与蓝宝石晶圆200放到减薄机2的工作台21上，砂轮22的端面221相对工作台21的倾角为0.0057°，在砂轮22与工作台21相对的方向上，砂轮22的端面221的投影涵盖工作台21的旋转中心211； S42，使用砂轮22对碲锌镉晶片100的B面进行磨削加工，砂轮22加工采用多步加工，加工后的碲锌镉晶片100的B面TTV为1-3μm、由边缘向中心点凹、表面粗糙度≤10nm； S5，单抛机CMP抛光，包括子步骤： S51，将单面减薄的碲锌镉晶片100和蓝宝石晶圆200安装到压头31上； S52，将压头31安装到单抛机3上，通过抛光盘32上的抛光垫33并在抛光垫33与压头31之间喷射抛光液进行抛光； S53，抛光后的碲锌镉晶片100的B面的表面粗糙度Ra1nm，TTV为0-1μm； S6，下蜡：从单抛机3上取下碲锌镉晶片100和蓝宝石晶圆200，将碲锌镉晶片100的A面与蓝宝石晶圆200之间的白石蜡300去除干净； S7，重复步骤S1至步骤S6，针对碲锌镉晶片100的A面进行表面加工，最终得到碲锌镉晶片100是TTV≤2μm、Ra≤1nm。

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