成都奋羽电子科技有限公司王邱林获国家专利权
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龙图腾网获悉成都奋羽电子科技有限公司申请的专利基于微波ECR与射频等离子体耦合的高效刻蚀方法与设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119581306B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411680233.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基于微波ECR与射频等离子体耦合的高效刻蚀方法与设备是由王邱林;吉皓设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于微波ECR与射频等离子体耦合的高效刻蚀方法与设备在说明书摘要公布了：本发明公开了基于微波ECR与射频等离子体耦合的高效刻蚀方法与设备，涉及等离子刻蚀技术领域，包括圆柱金属波导管，圆柱金属波导管内部分为上部的上腔体和下部的刻蚀区，位于上腔体对应的圆柱金属波导管外壁上均布有多个与圆柱金属波导管内部连通的矩形波导管，各矩形波导管末端均设置有与微波源连通的微波输入端口；上腔体内设置有与气流进口连通的石英腔和缠绕在石英腔外壁上的线圈，线圈两端通过导线与直流电源和或射频电源连接，石英腔内部为等离子体放电区。本发明利用电子回旋共振技术与射频等离子体电感耦合技术共同调控微波等离子体，提升了微波到等离子体的能量转换效率，并能产生更加均匀的等离子体，显著提高刻蚀面积，实现高效刻蚀。
本发明授权基于微波ECR与射频等离子体耦合的高效刻蚀方法与设备在权利要求书中公布了：1.基于微波ECR与射频等离子体耦合的高效刻蚀设备，包括圆柱金属波导管、设置在圆柱金属波导管上端的气流进口和设置在所述圆柱金属波导管下端的气流出口，所述圆柱金属波导管内部分为上部的上腔体和下部的刻蚀区，其特征在于，位于所述上腔体对应的所述圆柱金属波导管外壁上均布有多个与所述圆柱金属波导管内部连通的矩形波导管，各所述矩形波导管末端均设置有与微波源连通的微波输入端口； 所述上腔体内设置有与所述气流进口连通的石英腔和缠绕在所述石英腔外壁上的线圈，所述线圈两端通过导线与直流电源和或射频电源连接，所述石英腔内部为等离子体放电区； 所述圆柱金属波导管和所述石英腔均为圆筒状腔体，所述圆柱金属波导管的轴线和所述石英腔的轴线重合； 所述刻蚀区位于所述石英腔下方，所述刻蚀区内设置有用于放置刻蚀样品的刻蚀样品处理台和设置在所述刻蚀样品处理台上的用于压紧刻蚀样品的按压组件。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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