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龙图腾网获悉幂帆科技(南通)有限公司申请的专利一种新型半导体晶圆贴膜居中度校准机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626936B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411739071.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种新型半导体晶圆贴膜居中度校准机构是由葛春华;何君设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型半导体晶圆贴膜居中度校准机构在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种新型半导体晶圆贴膜后居中度校准机构及其方法，包括膜纸输送导向装置、贴膜平台、贴膜同心度自动校准装置。实现专用膜纸的全自动自动预切割、膜纸与晶圆同心度自动校核、贴膜等功能；采用辊压方式的膜纸预切割方案、视觉系统配合伺服电机及精密丝杆的组合，从原材料上料到成品下料，实现高度自动化、高效率、高良率、高性价比地提供一站式解决方案。

本发明授权一种新型半导体晶圆贴膜居中度校准机构在权利要求书中公布了：1.一种新型半导体晶圆贴膜居中度校准机构，包括膜纸输送导向装置、贴膜平台组件、贴膜同心度自动校准装置，安装在贴膜平台组件一侧上的膜纸输送导向装置对膜处理后移送至贴膜同心度自动校准装置上做对中处理，其特征在于：所述膜纸输送导向装置将其上的专用膜纸预切后与贴膜平台组件上的贴膜同心度自动校准装置配合； 所述贴膜同心度自动校准装置包括将预切割的专用膜纸状态监测的视觉检测装置，以及微调晶圆的同心度校准装置，视觉检测装置采集的切割痕与预设的晶圆位置进行比对，并由同心度校准装置对晶圆位置进行自动微调； 视觉检测装置包括摄像模组安装基板、采集预切专用膜纸的切割痕的工业相机，摄像模组安装基板上通过双向滑台连接有沿X、Y方向滑移的连接部，连接部上安装的工业相机通过滑轨滑槽式配合并由螺栓控制其沿Z方向滑移定位； 同心度校准装置包括晶圆定位装置和晶圆驱动装置； 晶圆定位装置包括通过圆柱导轨连接在其两端部的Z方向上基板和Z方向下基板，Z方向上基板上连接的晶圆固定盘通过若干真空吸盘用于将晶圆固定， 晶圆驱动装置包括X向电机以及X方向直线导轨和X向滚珠丝杆，X向电机的输出端与X向滚珠丝杆连接并驱动X、Y方向基板沿X方向直线导轨的方向滑移； 安装于X、Y方向基板上的Y方向电机驱动Y向滚珠丝杆，Y向滚珠丝杆与Z方向下基板上的Y方向圆柱导轨连接，使得Z方向下基板沿Y方向圆柱导轨的方向滑移； 安装于Z方向下基板底部上的Z向电机通过同步轮机构以及Z向滚珠丝杆用于控制晶圆定位装置升降。

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