买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利一种晶圆存储器及其晶圆盒存储控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626954B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411813808.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆存储器及其晶圆盒存储控制方法是由戚汉凌;王振强;王逸飞;王成鑫;郑瑜谦设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆存储器及其晶圆盒存储控制方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆存储器及其晶圆盒存储控制方法，涉及半导体领域。本申请提供的晶圆存储器中形成了交换晶圆盒的区域同时为该区域配置了内外两个窗板，可以在晶圆存储器存储有晶圆盒时通过两个窗板，实现晶圆存储器在交换晶圆盒时与外界的隔离，保证了晶圆存储器内的内部封闭性，同时阻挡了工作人员进行人工作业时，肢体进入晶圆存储器中的情况，避免工作人员的肢体损伤。此外，窗板的控制可以基于实际晶圆盒送去与取出的动作而触发，能减少工作人员的意外操作导致的窗体开关，从而进一步避免工作人员肢体损伤。

本发明授权一种晶圆存储器及其晶圆盒存储控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒存入方法，其特征在于，应用于晶圆存储器，所述晶圆存储器包括立库结构以及晶圆盒移动装置，所述立库结构设置有多个晶圆盒基座并在内部形成与外部连通的晶圆盒交换腔，所述晶圆盒交换腔设置有内窗、外窗以及内部承载板，所述多个晶圆盒基座包括设置在所述立库结构的侧壁上的存储基座以及设置在所述晶圆盒交换腔中所述内部承载板上的多个交换基座，所述晶圆盒移动装置由平面机械臂与纵向移动轴实现，用于在所述多个晶圆盒基座之间移动晶圆盒；所述晶圆盒存入方法包括： 响应于晶圆盒存入请求，关闭所述内窗并开启所述外窗； 响应于在所述交换基座已放置至少一个晶圆盒，开启所述内窗并关闭所述外窗； 驱动所述晶圆盒移动装置将晶圆盒从所述交换基座移动到所述存储基座； 所述交换基座配置为可转动基座，而具有第一朝向与第二朝向，其中，每个所述交换基座的第一朝向互相平行而使所述交换基座与外部交互，所述第二朝向指向所述晶圆盒移动装置的移动轴心而使所述晶圆盒移动装置能通过平面机械臂的朝向旋转与所述交换基座对齐； 所述内部承载板的尺寸仅基于所述第一朝向时的交换基座设置，而使所述晶圆盒交换腔上的交换基座处于所述第二朝向时阻挡所述内窗的移动轨迹，所述晶圆盒存入方法还包括： 响应于所述内窗的移动指令，检测所述交换基座的朝向； 响应于所述交换基座处于所述第二朝向，控制所述交换基座处于所述第一朝向，以避免所述交换基座阻挡所述内窗的移动轨迹； 执行内窗的移动指令。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京和崎精密科技有限公司，其通讯地址为：101111 北京市通州区科创东五街2号13幢1层、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。