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龙图腾网获悉北京和崎精密科技有限公司申请的专利晶圆片下料方法及晶圆存储库获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626955B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411813820.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆片下料方法及晶圆存储库是由戚汉凌;王振强;王逸飞;王成鑫;郑瑜谦设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆片下料方法及晶圆存储库在说明书摘要公布了：本申请提供了晶圆片下料方法及晶圆存储库，涉及半导体技术领域。本申请提供的晶圆片下料方法可以由晶圆存储库实现而无需额外设置晶圆片传输设备，提高了晶圆片加工系统的集成度。此外，本申请提供的晶圆存储库内设置有放置回收晶圆盒的承载台，从而在晶圆片下料时，可以将需要回收的晶圆片放置在该回收晶圆盒内。由此，晶圆片加工系统中出现的异常晶圆片在回收时，可以直接通过晶圆片承载设备运输到晶圆存储库，并通过前述晶圆存储库内的回收晶圆盒实现回收晶圆片的统一存放和管理。而无需将异常的晶圆片存储在工艺设备处。前述设置提高了晶圆片加工系统的集成度，降低了异常晶圆片的回收处理难度。

本发明授权晶圆片下料方法及晶圆存储库在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片下料方法，其特征在于，所述晶圆片下料方法应用于晶圆存储库，晶圆片加工系统中包括多个加工单元，所述加工单元为晶圆片加工工艺中一个或多个工艺的相关设备的集群，所述加工单元包括晶圆片承载设备，所述晶圆片承载设备用于将晶圆片在加工单元内的各个工艺设备间流转，每个所述加工单元设置一个或多个所述晶圆存储库以缓存待处理处理完的晶圆盒，所述晶圆存储库内设置有晶圆片移动机构、晶圆盒移动机构以及晶圆盒的多个承载台，所述晶圆片移动机构用于固定和搬运晶圆片，以与所述晶圆存储库外的所述加工单元的所述晶圆片承载设备中携带的晶圆片紧固配合，并放置在所述晶圆存储库内的指定晶圆盒内，所述多个承载台包括回收承载台，所述回收承载台上的回收晶圆盒用于回收晶圆片，所述晶圆片下料方法，包括： 响应于晶圆片下料请求，驱动所述晶圆片移动机构与所述晶圆存储库外的晶圆片承载设备中的目标晶圆片紧固配合； 判断所述目标晶圆片是否为回收晶圆片，其中，所述回收晶圆片至少包括所述晶圆存储库外的所述加工单元中出现异常的晶圆片； 若是，则驱动所述晶圆片移动机构携带所述目标晶圆片移动而将所述目标晶圆片放置在所述回收晶圆盒内，以将所述晶圆存储库外的所述加工单元中出现异常的晶圆片运输到所述晶圆存储库内的所述回收晶圆盒； 若否，则确定所述目标晶圆片对应的目标晶圆盒并驱动所述晶圆片移动机构携带所述目标晶圆片移动而将所述目标晶圆片放置在所述目标晶圆盒内。

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