华中科技大学邵谭彬获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种多层折射样品检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119714045B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411940354.4,技术领域涉及:G01B9/02015;该发明授权一种多层折射样品检测装置及方法是由邵谭彬;郭文平;夏珉;杨克成设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多层折射样品检测装置及方法在说明书摘要公布了:本申请属于样品形貌检测领域,具体公开了一种多层折射样品检测装置及方法。方法为:将初始光束分为第一光束和第二光束,再将第一光束分解为具有正交偏振态的且光程差固定的两路参考光,将第二光束传输至待测样品产生若干反射光;采集参考光与反射光干涉产生的初始干涉光谱,在初始干涉光谱中去除参考臂引入的固有伪影、待测样品内部的自相关伪影以及镜像伪影,获取无伪影的干涉光谱,进而获取待测样品的三维信息。本申请可以在不损伤待测样品的情况下,对多层折射样品的内层结构进行精准测量。
本发明授权一种多层折射样品检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于多层折射样品检测装置的多层折射样品检测方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤一:将初始光束分为第一光束和第二光束,再将第一光束分解为具有正交偏振态的且光程差固定的两路参考光,且将第二光束传输至待测样品产生若干反射光; 步骤二:采集参考光与反射光干涉产生的初始干涉光谱,在初始干涉光谱中去除参考臂引入的固有伪影、待测样品内部的自相关伪影以及镜像伪影,获取无伪影的干涉光谱; 步骤三:根据无伪影的干涉光谱,获取待测样品的三维信息; 在初始干涉光谱中去除待测样品内部的自相关伪影方法,具体包括以下步骤: 在初始干涉光谱中去除参考光干涉产生的干涉光谱,再经过傅里叶变换获取频域上的第一干涉光谱; 对第一干涉光谱相移后再进行傅里叶变换,获取第二干涉频谱;且同时对第一干涉光谱相移后再进行傅里叶变换,获取第三干涉频谱; 对第二干涉频谱和第三干涉频谱求和并取绝对值,获取频谱求和量; 对第二干涉频谱和第三干涉频谱求差并取绝对值,获取频谱求差量; 再将频谱求和量和频谱求差量进行求差取绝对值,获取去除待测样品内部的自相关伪影的重建信号; 其中,为参考光之间的相位差; 在初始干涉光谱中去除镜像伪影的方法,包括以下步骤: 在重建信号的负半轴中使用给定阈值寻峰,记录峰值位置; 在第二干涉频谱中根据峰值位置以及,找到振幅为和的信号峰; 当时,则在重建信号中提取振幅为的信号峰,去除振幅为的镜像伪影;反之,则在重建信号中提取振幅为的信号峰,去除振幅为的镜像伪影,获取无伪影的干涉频谱; 其中,一种多层折射样品检测装置,包括:数据处理系统和谱域干涉成像系统;谱域干涉成像系统包括宽光谱相干光源、参考臂、测量探头、光纤耦合器和光谱仪; 光纤耦合器的第一端连接宽带光源,其第二端连接光谱仪,其第三端连接参考臂、其第四端连接测量探头;检测时待测样品位于测量探头的下方;数据处理系统与光谱仪相连; 宽光谱相干光源用于将输出初始光束,并传输至光纤耦合器;光纤耦合器用于将初始光束分为第一光束和第二光束,并将第一光束传输至参考臂,将第二光束传输至测量探头; 参考臂用于将第一光束分解为具有正交偏振态的且光程差固定的两路参考光;光纤耦合器用于将两路参考光返回至光谱仪中; 测量探头用于将第二光束传输至待测样品,在待测样品每一层表面产生一个反射光,光纤耦合器用于将反射光传输至光谱仪中; 光谱仪用于采集反射光与参考光产生的初始干涉光谱; 数据处理系统用于在光谱仪传输的初始干涉光谱中除去参考臂引入的固有伪影、待测样品内部的自相关伪影以及镜像伪影,获取无伪影的干涉光谱; 其中,待测样品为多层折射样品。
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