吉林大学王磊获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉吉林大学申请的专利基于飞秒激光多路焦点复用在红外窗口表面制备高性能增透结构的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119747845B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510107361.4,技术领域涉及:B23K26/00;该发明授权基于飞秒激光多路焦点复用在红外窗口表面制备高性能增透结构的方法是由王磊;吴忠乐;陈岐岱;孙洪波设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于飞秒激光多路焦点复用在红外窗口表面制备高性能增透结构的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于飞秒激光多路焦点复用在红外窗口表面制备高性能增透结构的方法,属于激光加工技术领域,包括:样品的固定和除尘系统的搭建;样品台的调平;多路焦点复用结合湿法腐蚀制备高深径比高透过率亚波长结构;该方法是通过扫描振镜结合高精度三维位移平台的方式,利用飞秒激光在同一水平位置进行多次划线加工,即第一次划线加工时激光焦点聚焦在样品上表面,形成初步的小周期亚波长增透结构;然后,使激光焦点负离焦,同时改变激光光束偏振方向,增加激光功率和扫描速度进行第二次划线加工,解决了已有研究中存在表面形貌粗糙、结构深宽比低、整体形貌一致性差等问题,且证明了制备增透效果更高的增透结构时,取巧的加工手段并不可取,必须要采用激光直接加工的方法。
本发明授权基于飞秒激光多路焦点复用在红外窗口表面制备高性能增透结构的方法在权利要求书中公布了:1.基于飞秒激光多路焦点复用在红外窗口表面制备高性能增透结构的方法,其特征在于,具体包括如下步骤: 1、样品的固定和除尘系统的搭建; 具体步骤如下:通过特制的夹具夹持在样品边缘,并采用螺丝、螺栓将夹具固定;利用空气压缩机提供气源,气路由管道、适配的针型吹气接头及调压阀组成;利用固定杆将针型吹气接头固定在位移台侧面,使其能直接作用于加工区域部分,然后通过针型吹气接头的喷嘴将气体吹向加工区域;通过调压阀控制加工参数,在调平样品台前和加工过程中保持气体状态不变; 2、样品台的调平; 3、多路焦点复用结合湿法腐蚀制备高深径比高透过率亚波长结构; 具体步骤为:在第一次扫描加工时,首先使激光聚焦在样品上表面,水平位置保持不变,设置激光功率为W1,扫描速度为V1,在样品表面制备小周期的亚波长增透微结构,随后使飞秒激光焦点负离焦,提高激光功率至W2,提高扫描速度至V2,同时将光束偏振方向旋转90°,在同一水平位置进行第二次加工,最后结合湿法腐蚀,在红外窗口表面制备出高质量、高深径比的亚波长结构; 步骤3中,第一次加工使用的激光功率W1为红外窗口表面损伤阈值的2倍,第二次加工使用的激光功率W2为红外窗口表面损伤阈值的2-3倍,第一次加工使用的扫描速度V1为10-20μms,第二次加工使用的扫描速度V2为20-30μms; 步骤3中,第一次加工制备的小周期亚波长增透微结构周期小于4μm; 步骤3中,所述将光束偏振方向旋转90°,具体是通过控制第二电控半波片,将光束偏振方向变为垂直偏振加工,扫描方向为垂直于激光偏振的完全相反的两个方向; 步骤3中,所述湿法腐蚀是将加工后的样品用浓硫酸溶液水浴加热腐蚀一段时间,再使用质量分数为5%-10%的氢氧化钠溶液腐蚀。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人吉林大学,其通讯地址为:130012 吉林省长春市长春高新技术产业开发区前进大街2699号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励