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龙图腾网获悉长沙韶普光电科技有限公司申请的专利一种无粉尘光掩膜版激光加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119758663B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411878490.5，技术领域涉及：G03F1/82；该发明授权一种无粉尘光掩膜版激光加工装置是由姜南设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种无粉尘光掩膜版激光加工装置在说明书摘要公布了：本发明涉及激光加工技术领域，尤其是一种无粉尘光掩膜版激光加工装置，包括安装底座，所述安装底座顶部的两侧处均固定连接有环形滑轨，两个所述环形滑轨之间设置有多个条形框架，所述条形框架上均固定连接有夹持块，所述条形框架的两端均固定连接有滑座，所述滑座均滑动连接在对应的所述环形滑轨上；本发明通过光掩膜版的翻转使蚀刻位置产生的粉尘进行倒置分离，有利于对光掩膜版表面加工产生的粉尘进行充分清理，保证光掩膜版加工后的使用效果，并通过多个夹持块沿着环形滑轨的轨迹进行同步移动和暂停，减少准备工作对光掩膜版加工的影响，有效的提高光掩膜版的连续加工效率。

本发明授权一种无粉尘光掩膜版激光加工装置在权利要求书中公布了：1.一种无粉尘光掩膜版激光加工装置，包括安装底座1，其特征在于，所述安装底座1顶部的两侧处均固定连接有环形滑轨2，两个所述环形滑轨2之间设置有多个条形框架3，所述条形框架3上均固定连接有夹持块4，所述条形框架3的两端均固定连接有滑座5，所述滑座5均滑动连接在对应的所述环形滑轨2上，所述夹持块4上均连接有限位夹持机构； 两个所述环形滑轨2的上方设置有光刻机头6，所述光刻机头6上连接有水平移动机构和加工除尘机构，所述安装底座1的顶部固定连接有储液槽体7，所述储液槽体7位于两个所述环形滑轨2之间的下方，所述储液槽体7上连接有循环流动机构； 通过光刻机头6蚀刻后的光掩膜版向两个环形滑轨2之间的下方进行移动，并且使光掩膜版蚀刻的表面翻转后浸没在储液槽体7内部进行清洁； 所述限位夹持机构包括两个滑槽8，两个所述滑槽8均开设在所述夹持块4上，所述滑槽8的内部均滑动连接有滑动块9，所述滑动块9远离所述环形滑轨2的一端均固定连接有U型夹持条10，所述U型夹持条10远离所述夹持块4的一侧固定连接有两个边角挡板11，所述滑动块9上连接有活动机构； 所述活动机构包括两个环形槽轨12，两个环形槽轨12均固定连接在所述安装底座1的顶部且位于两个所述环形滑轨2之间，所述环形槽轨12包括夹持段1201和分离段1202，所述滑动块9靠近所述环形滑轨2的一端均固定连接有圆形销13，所述圆形销13的一端均位于对应的所述环形槽轨12内部； 圆形销13从分离段1202移动到夹持段1201中，两侧的U型夹持条10会相互远离到相互靠近对光掩膜版进行夹持固定。

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