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龙图腾网获悉东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请的专利一种晶圆全自动快速退火设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786412B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411780948.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆全自动快速退火设备是由冼健威;侯振健;莫国健设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆全自动快速退火设备在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工技术领域，尤其是指一种晶圆全自动快速退火设备。该种晶圆全自动快速退火设备，包括晶舟平台；晶圆放置在晶舟平台；转移晶圆的机器人设置在晶舟平台的侧旁；晶圆冷却站设置在机器人的侧旁；该晶圆冷却站的定位架可放置多个晶圆；上料机构设置在机器人的侧旁，该上料机构包括承载板和顶针；机器人将晶舟平台上的晶圆加载到顶针；工艺炉设置在上料机构的侧旁；该工艺炉包括炉体、炉门、加热件、载盘组件；顶针将晶圆加载到载盘组件。定位架能容纳大量的晶圆，有助于提高冷却和上料的效率。顶针下降将晶圆加载到载盘组件，保证晶圆加载的精准度。载盘组件可以放置多个的晶圆，工艺炉能对多个晶圆加热，更有助于提高加工效率。

本发明授权一种晶圆全自动快速退火设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆全自动快速退火设备，其特征在于：包括晶舟平台；晶圆放置在晶舟平台； 机器人设置在晶舟平台的侧旁，该机器人可转移晶圆； 晶圆冷却站设置在机器人的侧旁；该晶圆冷却站包括定位架，该定位架可放置一个或多个晶圆； 上料机构设置在机器人的侧旁；该上料机构包括第一直线模组、承载板、设置在承载板的顶针；承载板设置在第一直线模组，所述承载板上至少设置有三根顶针； 工艺炉设置在上料机构的侧旁；该工艺炉包括炉体、可开合设置在炉体的炉门、设置在炉体内的加热件、设置在炉门的载盘组件；顶针穿过所述载盘组件，机器人将晶舟平台上的晶圆加载到顶针上；顶针下降，所述顶针将晶圆加载到载盘组件上； 载盘组件包括石英支架、碳化硅载盘、第一温度计；第一温度计设置在石英支架上；石英支架设置在炉门上；石英支架上设置有承托耳，该承托耳托住所述碳化硅载盘；所述碳化硅载盘上设置有第二晶圆槽，晶圆放置在第二晶圆槽之中，所述顶针可从所述第二晶圆槽穿出顶起所述晶圆； 其中，碳化硅载盘能够放置多个晶圆，多个晶圆能够被同时加热。

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