深圳市新凯来工业机器有限公司陈佳俊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利用于夹持工件的夹持装置、承载设备及半导体检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786423B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411951291.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权用于夹持工件的夹持装置、承载设备及半导体检测系统是由陈佳俊;刘天祺;柴宇宸设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于夹持工件的夹持装置、承载设备及半导体检测系统在说明书摘要公布了：本申请实施方式提供一种用于夹持工件的夹持装置、承载设备及半导体检测系统。夹持装置包括气浮卡盘、自锁凸轮及夹爪，自锁凸轮安装于气浮卡盘的一侧，气浮卡盘背离自锁凸轮的一侧用于吹出气体以使工件悬浮在气浮卡盘背离自锁凸轮一侧的上方。自锁凸轮设有凸轮槽，所述夹爪的一端与所述凸轮槽连接，所述夹爪的另一端用于与所述工件的周壁相抵持，所述凸轮槽包括自锁槽段，所述自锁槽段与所述自锁凸轮的径向之间的夹角θ满足如下条件：θarctanμ,μ为所述自锁凸轮与所述夹爪之间的摩擦系数，所述自锁槽段用于锁紧所述夹爪。
本发明授权用于夹持工件的夹持装置、承载设备及半导体检测系统在权利要求书中公布了：1.一种夹持装置203，其特征在于，所述夹持装置203包括气浮卡盘22、自锁凸轮24及夹爪26，所述自锁凸轮24安装于所述气浮卡盘22的一侧，所述气浮卡盘22背离所述自锁凸轮24的一侧用于吹出气体以使工件200悬浮在所述气浮卡盘22背离所述自锁凸轮24一侧的上方； 所述自锁凸轮24设有凸轮槽242，所述夹爪26的一端与所述凸轮槽242连接，所述夹爪26的另一端用于与所述工件200的周壁相抵持，所述凸轮槽242包括自锁槽段2422，所述自锁槽段2422与所述自锁凸轮24的径向之间的夹角θ满足如下条件：θarctanμ,μ为所述自锁凸轮24与所述夹爪26之间的摩擦系数，所述自锁槽段2422用于锁紧所述夹爪26。
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